[實用新型]一種集成電路無氧真空儲存箱設備

有效

• 申請號: 201721587538.2
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207536500U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 安小敏;劉漢東;丁道路
• 申請（專利權）人: 合肥真萍電子科技有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20;B65D85/90
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

本實用新型公開了一種集成電路無氧真空儲存箱設備，包括外殼，所述外殼內部設有第一工作室與第二工作室，所述第二工作室設于第一工作室一側，所述第一工作室內部設有多個存儲內膽，多個所述存儲內膽一側均設有密封門以及另一側均設有第一連接管與第二連接管，所述第二連接管設于第一連接管底部，所述第一連接管與第二連接管底部均設有密閉電磁閥，多個所述存儲內膽外側均設有肋片以及底部設有擱板。本實用新型通過設有數字式電阻真空計，由于電阻規的電阻與壓強的變化是一種非線性關系，所以本實用新型還設有PLC控制器對此非線性進行誤差修正，從而提高了本實用新型中數字式電阻真空計的測量精度，使得本實用新型的實際使用效果更好。

技術領域

本實用新型涉及真空儲存技術領域，特別涉及一種集成電路無氧真空儲存箱設備。

背景技術

集成電路無氧真空儲存設備是真空儲存設備的一種，可用于存儲各行業所用到的集成電路、IC、晶圓、CMOS、bumping、tsv和指紋識別設備等精密元器件，其存儲方式為在真空無氧狀態下的真空無氧儲存，但是現有的集成電路無氧真空儲存設備在實際使用時還存在一些缺點，如無法準確連接設備內氣壓值，或檢測出的氣壓值偏差較大等，還有就是設備使用壽命時間較短。

因此，發明一種集成電路無氧真空儲存箱設備來解決上述問題很有必要。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種集成電路無氧真空儲存箱設備，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種集成電路無氧真空儲存箱設備，包括外殼，所述外殼內部設有第一工作室與第二工作室，所述第二工作室設于第一工作室一側，所述第一工作室內部設有多個存儲內膽，多個所述存儲內膽一側均設有密封門以及另一側均設有第一連接管與第二連接管，所述第二連接管設于第一連接管底部，所述第一連接管與第二連接管底部均設有密閉電磁閥，多個所述存儲內膽外側均設有肋片以及底部設有擱板，所述第一工作室內側設有絕對壓力變送器，所述第二工作室內部設有真空泵，所述真空泵一側設有數字式電阻真空計，所述數字式電阻真空計一側設有第一氧氣含量分析儀，所述第一氧氣含量分析儀一側設有第二氧氣含量分析儀，所述第二氧氣含量分析儀一側設有第三氧氣含量分析儀，所述第三氧氣含量分析儀一側設有氮氣接入管，所述氮氣接入管上設有氮氣接入閥，所述外殼側面設有控制柜，所述控制柜內部設有觸摸屏，所述觸摸屏底部設有PLC控制器，所述外殼底部設有水平支撐架，所述水平支撐架底部設有移動腳輪。

優選的，所述外殼側面設有門，所述門與外殼之間、密封門與存儲內膽之間均設有硅橡膠密封條，所述硅橡膠密封條內部設有壓力傳感器，所述壓力傳感器型號設置為LPS25HBTR。

優選的，所述存儲內膽由SUS3304拉絲不銹鋼板制成，所述存儲內膽內表面經過磨光處理，所述密封門上設有矩形觀察窗，所述矩形觀察窗由鋼化玻璃材料制成。

優選的，所述第一工作室和第二連接管均通過管道與真空泵連接。

優選的，所述PLC控制器型號設置為FX-30-48RM，所述第一氧氣含量分析儀、第二氧氣含量分析儀和第三氧氣含量分析儀型號均設置為GAXT-X，所述數字式電阻真空計型號設置為CVM-211，所述絕對壓力變送器型號設置為SC3051AP。

優選的，所述數字式電阻真空計、第一氧氣含量分析儀、第二氧氣含量分析儀、第三氧氣含量分析儀、絕對壓力變送器和觸摸屏均與PLC控制器電性連接。