[實用新型]一種晶圓自動管式爐

有效

• 申請號: 201721587390.2
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207540360U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 安小敏;劉漢東;丁道路
• 申請（專利權）人: 合肥真萍電子科技有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D3/00;F27D11/00;F27D17/00;F27D19/00;H01L21/67
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

本實用新型公開了一種晶圓自動管式爐，包括支撐架，所述支撐架的一端設置有控制臺，所述支撐架的另一端底部設置有進料管，所述進料管的頂部設置有送料裝置，所述送料裝置的上方設置有爐體，所述爐體固定安裝在支撐架上，所述爐體的底部通過進料口與送料裝置連接，所述爐體的內部設置有加熱腔，所述加熱腔的外側設置有環形加熱器，所述環形加熱器的外側設置有保溫層，所述加熱腔的內部一側設置有進氣管，所述加熱腔的內部另一側設置有測溫管。本實用新型通過在進料管上設置有送料裝置，使得本裝置可以實現自動上料，在爐體的加熱腔外側設置有環形加熱器，使得本裝置能夠實現全方位加熱，提高了本裝置的工作效率。

技術領域

本實用新型涉及晶圓爐相關技術領域，特別涉及一種晶圓自動管式爐。

背景技術

目前制備晶圓大多采用箱式爐燒結，箱式爐一次燒結的樣品較多，但是由于爐膛內空間加大，爐內溫度分布很不均勻，樣品不能夠被充分加熱，且在箱式爐內部保護氣不能充分流通，因此爐內氛圍不純凈，這兩個因素導致了制備的晶圓的質量普遍偏低。因此，發明一種晶圓自動管式爐來解決上述問題很有必要。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓自動管式爐，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種晶圓自動管式爐，包括支撐架，所述支撐架的一端設置有控制臺，所述支撐架的另一端底部設置有進料管，所述進料管的頂部設置有送料裝置，所述送料裝置的上方設置有爐體，所述爐體固定安裝在支撐架上，所述爐體的底部通過進料口與送料裝置連接，所述爐體的內部設置有加熱腔，所述加熱腔的外側設置有環形加熱器，所述環形加熱器的外側設置有保溫層，所述加熱腔的內部一側設置有進氣管，所述加熱腔的內部另一側設置有測溫管，所述保溫層的一側設置有控溫熱偶，所述控溫熱偶通過導熱桿與環形加熱器連接，所述保溫層的另一側底部設置有冷風機，所述冷風機通過風管與環形加熱器連接，所述加熱腔的頂端設置有排氣管，所述排氣管遠離爐體的一端設置有冷卻器，所述冷卻器上設置有排氣口，所述環形加熱器的頂端設置有降溫排風口。

優選的，所述送料裝置采用移動式滑臺機構，滑臺機構為無桿電缸。

優選的，所述爐體的外部采用不銹鋼外套，所述加熱腔為石英爐管，所述保溫層設置為陶瓷纖維層。

優選的，所述控溫熱偶設置有多個，多個控溫熱偶呈線性排列，且相鄰的兩個控溫熱偶等間距設置。

優選的，所述風管上設置有多個支管，多個支管呈線性垂直分布，且相鄰的兩個支管等間距設置。

優選的，所述排氣管的外側設置有排氣管補溫層，所述排氣管補溫層設置為陶瓷填充層。

本實用新型的技術效果和優點：本實用新型通過在進料管上設置有送料裝置，使得本裝置可以實現自動上料，在爐體的加熱腔外側設置有環形加熱器，使得本裝置能夠實現全方位加熱，提高了本裝置的工作效率；在環形加熱器的外側設置有保溫層，保溫層能夠防止熱量損失，提高了本裝置的加熱效果；在保溫層的兩側分別設置有控溫熱偶和冷風機，使得本裝置能夠精確的對加熱腔內的溫度進行調控，進一步提高了本裝置的工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖2為本實用新型爐體結構剖面示意圖。

圖中：支撐架1、控制臺2、進料管3、送料裝置4、爐體5、進料口6、環形加熱器7、保溫層8、承燒架9、進氣管10、測溫管11、控溫熱偶12、導熱桿13、冷風機14、風管15、排氣管16、冷卻器17、排氣口18、排氣管補溫層19、降溫排風口20。

具體實施方式