[實(shí)用新型]一種晶圓自動(dòng)管式爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721587390.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207540360U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安小敏;劉漢東;丁道路
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥真萍電子科技有限公司
• 主分類號(hào): F27B17/00
• 分類號(hào): F27B17/00;F27D3/00;F27D11/00;F27D17/00;F27D19/00;H01L21/67
• 代理公司: 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種晶圓自動(dòng)管式爐，包括支撐架（1），其特征在于：所述支撐架（1）的一端設(shè)置有控制臺(tái)（2），所述支撐架（1）的另一端底部設(shè)置有進(jìn)料管（3），所述進(jìn)料管（3）的頂部設(shè)置有送料裝置（4），所述送料裝置（4）的上方設(shè)置有爐體（5），所述爐體（5）固定安裝在支撐架（1）上，所述爐體（5）的底部通過(guò)進(jìn)料口（6）與送料裝置（4）連接，所述爐體（5）的內(nèi)部設(shè)置有加熱腔，所述加熱腔的外側(cè)設(shè)置有環(huán)形加熱器（7），所述環(huán)形加熱器（7）的外側(cè)設(shè)置有保溫層（8），所述加熱腔的內(nèi)部一側(cè)設(shè)置有進(jìn)氣管（10），所述加熱腔的內(nèi)部另一側(cè)設(shè)置有測(cè)溫管（11），所述保溫層（8）的一側(cè)設(shè)置有控溫?zé)崤迹?2），所述控溫?zé)崤迹?2）通過(guò)導(dǎo)熱桿（13）與環(huán)形加熱器（7）連接，所述保溫層（8）的另一側(cè)底部設(shè)置有冷風(fēng)機(jī)（14），所述冷風(fēng)機(jī)（14）通過(guò)風(fēng)管（15）與環(huán)形加熱器（7）連接，所述加熱腔的頂端設(shè)置有排氣管（16），所述排氣管（16）遠(yuǎn)離爐體（5）的一端設(shè)置有冷卻器（17），所述冷卻器（17）上設(shè)置有排氣口（18），所述環(huán)形加熱器（7）的頂端設(shè)置有降溫排風(fēng)口（20）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓自動(dòng)管式爐，其特征在于：所述送料裝置（4）采用移動(dòng)式滑臺(tái)機(jī)構(gòu)，滑臺(tái)機(jī)構(gòu)為無(wú)桿電缸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓自動(dòng)管式爐，其特征在于：所述爐體（5）的外部采用不銹鋼外套，所述加熱腔為石英爐管，所述保溫層（8）設(shè)置為陶瓷纖維層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓自動(dòng)管式爐，其特征在于：所述控溫?zé)崤迹?2）設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)控溫?zé)崤迹?2）呈線性排列，且相鄰的兩個(gè)控溫?zé)崤迹?2）等間距設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓自動(dòng)管式爐，其特征在于：所述風(fēng)管（15）上設(shè)置有多個(gè)支管，多個(gè)支管呈線性垂直分布，且相鄰的兩個(gè)支管等間距設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓自動(dòng)管式爐，其特征在于：所述排氣管（16）的外側(cè)設(shè)置有排氣管補(bǔ)溫層（19），所述排氣管補(bǔ)溫層（19）設(shè)置為陶瓷填充層。