[實用新型]一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐

有效

• 申請號: 201721587337.2
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207540262U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 安小敏;劉漢東;丁道路
• 申請（專利權）人: 合肥真萍電子科技有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/14;F26B21/00;F26B21/04;F26B21/12;F26B25/12
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

本實用新型公開了一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，包括箱體，所述箱體一側設有控制箱，所述控制箱前側設有控制面板，所述箱體頂部設有蜂鳴器，所述箱體內部設有上膛體和下膛體，所述下膛體設置于上膛體底部，所述上膛體和下膛體前側均設有活動門。本實用新型鼓風循環風機將吸收回來的熱風通過抽氣管抽出并經過出氣管排至氮氣進管與補充的新鮮氮氣匯合，一部分氣體攜帶烘干處理產生的廢物從排氣管排出，大部分氣體進入風道內，通過加熱元件，攜帶走加熱元件的熱量，進入上膛體和下膛體內對產品進行均勻加熱，然后由鼓風循環風機重新吸回，如此往返循環加熱，加熱快速高效，冷卻時通入高壓氮氣循環冷卻。

技術領域

本實用新型涉及集成電路圓片級專用PI無氧固化爐領域，特別涉及一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐。

背景技術

干燥箱技術條件及國家相關標準研究制造，廣泛應用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫藥實驗室等生產及科研部門，以往的干燥加熱裝置加熱效果不是特別好，并且加熱過程中不穩定可能會導致爆炸，發生爐內的可燃性氣體與空氣混合遇火發生爆炸，用氮氣將爐內的可燃性氣體置換排出，這是因為氮氣的化學性質穩定，不能燃燒，也不支持燃燒，并且一般采用自然冷卻，或是水冷和氣冷，冷卻效果不好并且結構復雜增加成本。

因此，發明一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐來解決上述問題很有必要。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，包括箱體，所述箱體一側設有控制箱，所述控制箱前側設有控制面板，所述箱體頂部設有蜂鳴器，所述箱體內部設有上膛體和下膛體，所述下膛體設置于上膛體底部，所述上膛體和下膛體前側均設有活動門，所述上膛體和下膛體內部均設有風速流量計和氧氣含量檢測儀，所述上膛體和下膛體兩側設有第一導風板，所述上膛體和下膛體后側設有第二導風板，所述第一導風板、第二導風板與上膛體和下膛體之間設有風道，所述風道與上膛體和下膛體之間設有進氣通道，所述風道內部設有加熱元件，所述第二導風板后側設有安裝腔體，所述安裝腔體內部設有鼓風循環風機，所述箱體后側設有氮氣進管和排氣管，所述排氣管設置于氮氣進管一側，所述氮氣進管一側設有兩個進管，所述進管上設有氣體過濾器，所述進管與風道連接，所述進管上設有氣體流量調節閥，所述鼓風循環風機一側設有抽氣管以及另一側設有出氣管，所述出氣管上設有支管，所述出氣管與氮氣進管連接，所述支管與排氣管連接。

優選的，所述控制箱內部設有PLC控制器。

優選的，所述風速流量計型號設置為HY-LUGB，所述氧氣含量檢測儀型號設置為GAXT-X，所述風速流量計、氧氣含量檢測儀、蜂鳴器和氣體流量調節閥均與PLC控制器電性連接。

優選的，所述活動門上設有電子鎖，所述活動門內部設有密封條。

優選的，所述加熱元件設置為不銹鋼加熱器，所述上膛體和下膛體由SUS304不銹鋼制成，所述加熱元件設置有多個且均勻間隔交錯設置，所述加熱元件設置為傾斜狀。

優選的，所述鼓風循環風機數量為兩個，兩個出氣管與兩個進管連接。

優選的，所述出氣管和進管內壁均設置為螺旋狀。