[實用新型]一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐

有效

• 申請號: 201721587337.2
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207540262U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 安小敏;劉漢東;丁道路
• 申請（專利權）人: 合肥真萍電子科技有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/14;F26B21/00;F26B21/04;F26B21/12;F26B25/12
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，包括箱體（1），其特征在于：所述箱體（1）一側設有控制箱（2），所述控制箱（2）前側設有控制面板（3），所述箱體（1）頂部設有蜂鳴器（4），所述箱體（1）內部設有上膛體（5）和下膛體（6），所述下膛體（6）設置于上膛體（5）底部，所述上膛體（5）和下膛體（6）前側均設有活動門（7），所述上膛體（5）和下膛體（6）內部均設有風速流量計（8）和氧氣含量檢測儀（9），所述上膛體（5）和下膛體（6）兩側設有第一導風板（10），所述上膛體（5）和下膛體（6）后側設有第二導風板（11），所述第一導風板（10）、第二導風板（11）與上膛體（5）和下膛體（6）之間設有風道（12），所述風道（12）與上膛體（5）和下膛體（6）之間設有進氣通道（13），所述風道（12）內部設有加熱元件（14），所述第二導風板（11）后側設有安裝腔體（15），所述安裝腔體（15）內部設有鼓風循環風機（16），所述箱體（1）后側設有氮氣進管（17）和排氣管（18），所述排氣管（18）設置于氮氣進管（17）一側，所述氮氣進管（17）一側設有兩個進管（24），所述進管（24）上設有氣體過濾器（23），所述進管（24）與風道（12）連接，所述進管（24）上設有氣體流量調節閥（19），所述鼓風循環風機（16）一側設有抽氣管（20）以及另一側設有出氣管（21），所述出氣管（21）上設有支管（22），所述出氣管（21）與氮氣進管（17）連接，所述支管（22）與排氣管（18）連接。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，其特征在于：所述控制箱（2）內部設有PLC控制器。

3.根據權利要求1所述的一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，其特征在于：所述風速流量計（8）型號設置為HY-LUGB，所述氧氣含量檢測儀（9）型號設置為GAXT-X，所述風速流量計（8）、氧氣含量檢測儀（9）、蜂鳴器（4）和氣體流量調節閥（19）均與PLC控制器電性連接。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，其特征在于：所述活動門（7）上設有電子鎖，所述活動門（7）內部設有密封條。

5.根據權利要求1所述的一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，其特征在于：所述加熱元件（14）設置為不銹鋼加熱器，所述上膛體（5）和下膛體（6）由SUS304不銹鋼制成，所述加熱元件（14）設置有多個且均勻間隔交錯設置，所述加熱元件（14）設置為傾斜狀。

6.根據權利要求1所述的一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，其特征在于：所述鼓風循環風機（16）數量為兩個，兩個出氣管（21）與兩個進管（24）連接。

7.根據權利要求1所述的一種集成電路圓片級專用PI無氧固化爐，其特征在于：所述出氣管（21）和進管（24）內壁均設置為螺旋狀。