[實用新型]精密設備及其氣浮式工作臺有效

申請號：	201721574774.0	申請日：	2017-11-22
公開（公告）號：	CN207548682U	公開（公告）日：	2018-06-29
發明（設計）人：	張曉輝;劉濤;宋高峰;黎錦寧;尹建剛;高云峰	申請（專利權）人：	大族激光科技產業集團股份有限公司
主分類號：	B25H1/00	分類號：	B25H1/00;F16F15/02
代理公司：	廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224	代理人：	石佩
地址：	518051 廣東省深圳市南***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	載料臺擋板氣浮式工作臺導向結構緩沖組件精密設備兩端位置平行設置氣浮墊四角處撞擊力緩沖滑動連接兩端設置確保設備設備平臺氣浮式相向摩擦移動
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【說明書】：

本實用新型涉及一種精密設備及其氣浮式工作臺，該氣浮式工作臺包括：平行設置于設備平臺上的兩擋板；且兩擋板相向一側設有導向結構；載料臺，兩端分別通過導向結構與兩擋板滑動連接；載料臺的四角處設有氣浮墊；以及設于兩擋板兩端的緩沖組件，用以緩沖載料臺沿導向結構運動至兩端位置時的撞擊力。該氣浮式工作臺通過將載料臺滑設在兩平行設置的擋板上，并在載料臺的四角處設置氣浮墊，從而載料臺移動時，不會有摩擦，運行較平穩，此外，在擋板的兩端設置的緩沖組件可以有效緩沖載料臺運行到兩端位置時的撞擊力，從而確保設備正常運行。

技術領域

本實用新型屬于精密設備領域，尤其涉及一種精密設備及其氣浮式工作臺。

背景技術

隨著機械設備的發展，對于工作平臺定位精度的要求越來越高。精密定位是精密機械設備最為關鍵的一部分，可為電子設備、激光設備、微型制造設備、航天設備等領域提供精密定位和穩定運行的載物平臺。目前市場上工作平臺按導軌形式分為三種：機械式、磁懸浮式和氣浮式，近年來機械平臺因其摩擦大和運行死角等問題逐漸淡出精密設備的應用，磁懸浮式和氣浮式憑借無接觸無摩擦的優勢得到越來越廣泛的應用，但磁懸浮式制造成本較高，而氣浮式具備高性價比的優點。

目前的氣浮式工作平臺在運行時易受到環境振動或力學方面因素的干擾而穩定性不佳。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種運行穩定的氣浮式工作臺以及包括該氣浮式工作臺的精密設備。

一種氣浮式工作臺，所述氣浮式工作臺設置于精密設備的設備平臺上，以用于承載物料；該氣浮式工作臺包括：

兩擋板，平行設置于所述設備平臺上；且兩所述擋板相向一側設有導向結構；

載料臺，兩端分別通過所述導向結構與兩所述擋板滑動連接；所述載料臺的四角處設有氣浮墊；

緩沖組件，設于兩所述擋板的兩端，以緩沖所述載料臺沿所述導向結構運動至兩端位置時的撞擊力。

在其中一個實施例中，兩所述擋板朝所述載料臺的一側分別設有光柵尺，所述光柵尺與所述導向結構相平行。

在其中一個實施例中，所述導向結構為開設于兩擋板面向所述載料臺一側的滑槽，所述載料臺上設有與所述滑槽滑動配合的滑塊。

在其中一個實施例中，所述滑塊的內側設有直線電機，以驅動所述載料臺沿所述滑槽移動。

在其中一個實施例中，所述直線電機的兩端分別設有第一感應片和第二感應片，以分別限制所述直線電機驅動所述載料臺沿所述滑槽移動的行程。

在其中一個實施例中，所述緩沖組件包括第一緩沖柱和第二緩沖柱；所述第一緩沖柱設于所述設備平臺上且與所述載料臺相對，以對所述載料臺進行緩沖；所述第二緩沖柱設于所述擋板開設所述滑槽的一側且與所述滑塊相對，以對所述滑塊進行緩沖。