[實用新型]精密設備及其氣浮式工作臺

有效

• 申請號: 201721574774.0
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN207548682U
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 張曉輝;劉濤;宋高峰;黎錦寧;尹建剛;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: B25H1/00
• 分類號: B25H1/00;F16F15/02
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 石佩

1.一種氣浮式工作臺，所述氣浮式工作臺設置于精密設備的設備平臺上，以用于承載物料；其特征在于，所述氣浮式工作臺包括：

兩擋板，平行設置于所述設備平臺上；且兩所述擋板相向一側設有導向結構；

載料臺，兩端分別通過所述導向結構與兩所述擋板滑動連接；所述載料臺的四角處設有氣浮墊；

緩沖組件，設于兩所述擋板的兩端，以緩沖所述載料臺沿所述導向結構運動至兩端位置時的撞擊力。

2.根據權利要求1所述的氣浮式工作臺，其特征在于：兩所述擋板朝所述載料臺的一側分別設有光柵尺，所述光柵尺與所述導向結構相平行。

3.根據權利要求1所述的氣浮式工作臺，其特征在于：所述導向結構為開設于兩擋板面向所述載料臺一側的滑槽，所述載料臺上設有與所述滑槽滑動配合的滑塊。

4.根據權利要求3所述的氣浮式工作臺，其特征在于：所述滑塊的內側設有直線電機，以驅動所述載料臺沿所述滑槽移動。

5.根據權利要求4所述的氣浮式工作臺，其特征在于：所述直線電機的兩端分別設有第一感應片和第二感應片，以分別限制所述直線電機驅動所述載料臺沿所述滑槽移動的行程。

6.根據權利要求5所述的氣浮式工作臺，其特征在于：所述緩沖組件包括第一緩沖柱和第二緩沖柱；所述第一緩沖柱設于所述設備平臺上且與所述載料臺相對，以對所述載料臺進行緩沖；所述第二緩沖柱設于所述擋板開設所述滑槽的一側且與所述滑塊相對，以對所述滑塊進行緩沖。

7.根據權利要求6所述的氣浮式工作臺，其特征在于：所述緩沖組件還包括第一安裝架和第二安裝架，所述第一緩沖柱和第二緩沖柱分別安裝于所述第一安裝架和第二安裝架上。

8.根據權利要求1所述的氣浮式工作臺，其特征在于：所述氣浮墊為多個，分別設置于所述載料臺的底面和側面。

9.根據權利要求8所述的氣浮式工作臺，其特征在于：所述氣浮墊的底部沿邊緣開設有環形凹槽。

10.一種精密設備，其特征在于：包括如權利要求1-9任一項所述的氣浮式工作臺。