[實用新型]太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝有效
| 申請號: | 201721570797.4 | 申請日: | 2017-11-22 |
| 公開(公告)號: | CN207781559U | 公開(公告)日: | 2018-08-28 |
| 發明(設計)人: | 樊華;吳俊清;李慧;俞超;徐強 | 申請(專利權)人: | 東方環晟光伏(江蘇)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司: | 南京天華專利代理有限責任公司 32218 | 代理人: | 劉暢;徐冬濤 |
| 地址: | 214203 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 承載圓盤 螺絲 石墨框 連接孔 硅片 太陽能電池 硅片承載 鍍膜 柱體 本實用新型 可拆卸固定 數量一致 限位固定 行列排布 圓盤結構 承載盤 載盤 伸出 替代 | ||
本實用新型公開了一種太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝,它包括長方形石墨框和螺絲承載圓盤,長方形石墨框中設置有多個行列排布的硅片倉,硅片倉周圍的石墨框上設置連接孔;螺絲承載圓盤通過連接孔可拆卸固定在長方形石墨框上,并通過螺絲承載圓盤底面的圓盤結構替代鉤點;所述螺絲承載圓盤包括承載盤、柱體、以及連接載盤和柱體的斜面,一個套裝中具有多組不同尺寸規格的螺絲承載圓盤,每組螺絲承載圓盤的數量與連接孔的數量一致。螺絲承載圓盤的斜面的不同斜率即表示不同的鉤點伸出長度,通過與長方形石墨框的組合使用,可以限制不同尺寸的硅片的活動,達到限位固定的效果。
技術領域
本專利屬于光伏技術領域,具體涉及一種太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝。
背景技術
隨著新能源行業的不斷發展,太陽能電池片的不斷探究與應用,背鈍化電池技術得到迅速發展,常規背鈍化電池工藝流程為:清洗/制絨——擴散摻雜——刻蝕——背面拋光——正面氮化硅鍍膜——背面鈍化膜制備——激光開槽——絲網印刷。
其中,在采用PECVD設備制備氮化硅薄膜過程中,需要使用石墨框承載硅片。為了防止硅片發生掉片,通過設置石墨框鉤點可以穩住電池片。當石墨框鉤點的尺寸與硅片尺寸不匹配時,掉片風險加大,故針對不同尺寸的硅片,需要配套不同尺寸的石墨框鉤點。
如此,增加了太陽能電池片生產企業的購買和儲存成本。
實用新型內容
本實用新型的目的在太陽電池制作過程中,提出一種新的太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝,以減少成本,適用于不同尺寸的電池片鍍膜工序。
本實用新型的上述目的是通過以下技術措施來實施來實現的:
一種太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝,它包括長方形石墨框和螺絲承載圓盤,長方形石墨框中設置有多個行列排布的硅片倉,硅片倉周圍的石墨框上設置連接孔;螺絲承載圓盤通過連接孔可拆卸固定在長方形石墨框上,并通過螺絲承載圓盤底面的圓盤結構替代鉤點;所述螺絲承載圓盤包括承載盤、柱體、以及連接載盤和柱體的斜面,一個套裝中具有多組不同尺寸規格的螺絲承載圓盤,每組螺絲承載圓盤的數量與連接孔的數量一致。
優選的,所述承載盤和斜面為鏤空結構。
優選的,所述多組不同尺寸規格的螺絲承載圓盤為:承載盤的直徑為6.5mm、8.5mm、10.5mm任一種與斜面的角度為10°、30°、60°任一種的九種組合。
本實用新型的有益效果
螺絲承載圓盤的斜面的不同斜率即表示不同的鉤點伸出長度,通過與長方形石墨框的組合使用,可以限制不同尺寸的硅片的活動,達到限位固定的效果。
同時,長方形石墨框和螺絲承載圓盤的活動連接,更換清洗都十分便捷。
承載盤和斜面設置為鏤空結構,減少遮擋面積,優化鍍膜效果。
附圖說明
圖1為本實用新型太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝使用狀態示意圖。
圖2a為本實用新型螺絲承載圓盤的尺寸之一結構示意圖。
圖2b為本實用新型螺絲承載圓盤的尺寸之二結構示意圖。
圖2c為本實用新型螺絲承載圓盤的尺寸之三結構示意圖。
圖3為本實用新型螺絲承載圓盤的鏤空結構示意圖。
具體實施方式
下面結合實施例對本實用新型作進一步說明,但本實用新型的保護范圍不限于此:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





