[實用新型]太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝有效
| 申請號: | 201721570797.4 | 申請日: | 2017-11-22 |
| 公開(公告)號: | CN207781559U | 公開(公告)日: | 2018-08-28 |
| 發明(設計)人: | 樊華;吳俊清;李慧;俞超;徐強 | 申請(專利權)人: | 東方環晟光伏(江蘇)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司: | 南京天華專利代理有限責任公司 32218 | 代理人: | 劉暢;徐冬濤 |
| 地址: | 214203 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 承載圓盤 螺絲 石墨框 連接孔 硅片 太陽能電池 硅片承載 鍍膜 柱體 本實用新型 可拆卸固定 數量一致 限位固定 行列排布 圓盤結構 承載盤 載盤 伸出 替代 | ||
1.一種太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝,其特征在于它包括長方形石墨框(1)和螺絲承載圓盤(2),長方形石墨框(1)中設置有多個行列排布的硅片倉(12),硅片倉(12)周圍的石墨框上設置連接孔(11);螺絲承載圓盤(2)通過連接孔(11)可拆卸固定在長方形石墨框(1)上;所述螺絲承載圓盤(2)包括承載盤(21)、柱體(22)、以及連接載盤(21)和柱體(22)的斜面(23),一個套裝中具有多組不同尺寸規格的螺絲承載圓盤(2),每組螺絲承載圓盤(2)的數量與連接孔(11)的數量一致。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝,其特征在于所述承載盤(21)和斜面(23)為鏤空結構。
3.根據權利要求1所述的太陽能電池鍍膜用硅片承載套裝,其特征在于所述多組不同尺寸規格的螺絲承載圓盤(2)為:承載盤(21)的直徑為6.5mm、8.5mm、10.5mm任一種與斜面(23)的角度為10°、30°、60°任一種的九種組合。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





