[實用新型]一種厚膠光刻用烘焙裝置

有效

• 申請號: 201721570712.2
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN207408744U
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 姜世平;楊武;董小春;鄭鑫;郭小偉
• 申請（專利權）人: 四川云盾光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/38
• 分類號: G03F7/38
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 林輝輪;張玲

本實用新型公開了一種厚膠光刻用烘焙裝置，包括箱體，所述箱體左端與合頁固定連接，所述合頁與箱門固定連接，所述箱體內部與烘焙板固定連接，所述箱體內部烘焙板下方設有盛放板，所述烘焙板與盛放板交替放置，所述烘焙板右端與分氣管連接，所述分氣管與第一供氣管固定連接，所述第一供氣管一端開口，另一端封閉，所述第一供氣管的開口端與電加熱箱固定連接，所述電加熱箱內部設有電加熱塊，所述電加熱箱上端與供電裝置固定連接，所述供電裝置與電加熱塊電性連接，所述電加熱箱的另一端與連接管固定連接，所述連接管的另一端與氣泵固定連接；本實用新型實現了對光刻板的烘焙。

技術領域：

本實用新型涉及光刻工藝技術領域，尤其涉及一種厚膠光刻用烘焙裝置。

背景技術：

在進行光刻工藝時，光刻膠被涂到硅片表面后必須要經過軟烘，軟烘的目的是去除光刻膠中的溶劑。軟烘提高了粘附性，提升了硅片上光刻膠的均勻性，在刻蝕中得到了更好的線寬控制。典型的軟烘條件是在熱板上以90℃到100℃的溫度將硅片烘烤30秒左右，然后將硅片置于冷板之上進行降溫，以得到光刻膠一直特性的硅片溫度控制。

現在的厚膠光刻烘焙都是單個進行烘焙，缺少一種可以批量烘焙的裝置。

實用新型內容：

本實用新型的目的在于提供一種厚膠光刻用烘焙裝置。

本實用新型由如下技術方案實施：一種厚膠光刻用烘焙裝置，包括箱體，所述箱體左端與合頁固定連接，所述合頁與箱門固定連接，所述箱體內部與烘焙板固定連接，所述箱體內部烘焙板下方設有盛放板，所述烘焙板與盛放板交替放置，所述烘焙板右端與分氣管連接，所述分氣管與第一供氣管固定連接，所述第一供氣管一端開口，另一端封閉，所述第一供氣管的開口端與電加熱箱固定連接，所述電加熱箱內部設有電加熱塊，所述電加熱箱上端與供電裝置固定連接，所述供電裝置與電加熱塊電性連接，所述電加熱箱的另一端與連接管固定連接，所述連接管的另一端與氣泵固定連接。

進一步，所述氣泵下端與集氣口固定連接，所述集氣口伸入箱體內部，實現了箱體內部氣體的循環，防止外界空氣進入箱體內部影響烘焙效果。

進一步，所述盛放板上設有多個盛放孔，所述盛放孔成正方形排列，盛放板上的盛放孔實現了批量光刻板的同時烘焙。

進一步，所述烘焙板內部設有第二供氣管，所述第二供氣管與分氣管固定連接，所述烘焙板內部的第二供氣管與第三供氣管連接，所述第三供氣管縱向排列，所述第三供氣管上安裝有出氣口，烘焙板內部的第二供氣管和第三供氣管實現了對烘焙氣體的分散，保證了每個盛放孔上的光刻板都可以受到熱空氣的烘焙。

進一步，所述出氣口的位置與盛放孔的位置對應，保證了熱空氣可以正直的吹到盛放孔上的光刻板上。

進一步，所述箱門外圍與密封圈固定連接，保證了箱門關閉的密封，防止外界空氣進入箱體內部。

進一步，所述箱門中間與可視窗口固定連接，使外界人員可以觀察箱體內部的情況。

進一步，所述箱體內部設有燕尾槽，所述盛放板左右兩端與燕尾槽凸塊固定連接，所述盛放板通過燕尾槽凸塊安裝在箱體的燕尾槽內，保證了盛放板的可拆卸，方便了光刻板的裝上和卸下。

進一步，所述盛放板前端與把手固定連接，使盛放板把手卸下的同時有抓手可以借上力。

本實用新型的優點：本實用新型實現了對光刻板的烘焙；通過設置多個盛放孔實現了同時對多個光刻板進行烘焙，提高了烘焙效率；通過氣泵的集氣口的設置實現了對氣體的循環，使得整個烘焙過程不受外部氣體進入的影響。

附圖說明：