[實用新型]一種厚膠光刻用烘焙裝置

有效

• 申請號: 201721570712.2
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN207408744U
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 姜世平;楊武;董小春;鄭鑫;郭小偉
• 申請（專利權）人: 四川云盾光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/38
• 分類號: G03F7/38
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 林輝輪;張玲

1.一種厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，包括箱體，所述箱體左端與合頁固定連接，所述合頁與箱門固定連接，所述箱體內部與烘焙板固定連接，所述箱體內部烘焙板下方設有盛放板，所述烘焙板與盛放板交替放置，所述烘焙板右端與分氣管連接，所述分氣管與第一供氣管固定連接，所述第一供氣管一端開口，另一端封閉，所述第一供氣管的開口端與電加熱箱固定連接，所述電加熱箱內部設有電加熱塊，所述電加熱箱上端與供電裝置固定連接，所述供電裝置與電加熱塊電性連接，所述電加熱箱的另一端與連接管固定連接，所述連接管的另一端與氣泵固定連接。

2.根據權利要求1所述的厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，所述氣泵下端與集氣口固定連接，所述集氣口伸入箱體內部。

3.根據權利要求1所述的厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，所述盛放板上設有多個盛放孔，所述盛放孔成正方形排列。

4.根據權利要求1所述的厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，所述烘焙板內部設有第二供氣管，所述第二供氣管與分氣管固定連接，所述烘焙板內部的第二供氣管與第三供氣管連接，所述第三供氣管縱向排列，所述第三供氣管上安裝有出氣口。

5.根據權利要求4所述的厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，所述出氣口的位置與盛放孔的位置對應。

6.根據權利要求1所述的厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，所述箱門外圍與密封圈固定連接。

7.根據權利要求1所述的厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，所述箱門中間與可視窗口固定連接。

8.根據權利要求1所述的厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，所述箱體內部設有燕尾槽，所述盛放板左右兩端與燕尾槽凸塊固定連接，所述盛放板通過燕尾槽凸塊安裝在箱體的燕尾槽內。

9.根據權利要求1所述的厚膠光刻用烘焙裝置，其特征在于，所述盛放板前端與把手固定連接。