[實用新型]用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置

有效

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• 申請日: 2017-11-21
• 公開（公告）號: CN207828402U
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬琪偉;高錦龍;朱家寬;陸建嘉;張衛(wèi)衛(wèi);張情情;鐘華良;劉杰鵬;賀晨濤
• 申請（專利權(quán)）人: 旭科新能源股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 杭州九洲專利事務(wù)所有限公司 33101
• 代理人: 翁霽明

用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置，主要有一塊與柔性襯底接觸的冷卻板，所述的冷卻板與柔性襯底直接接觸并且緊貼在一起；所述的冷卻板的背面開設(shè)有冷卻水槽，并在背面用密封圈配置有一塊將冷卻水槽密封其內(nèi)的背板，在冷卻板與背板之間形成有由冷卻水槽構(gòu)成的密閉冷卻水流道，一外接水管從背板接入與所述的冷卻水流道連通；所述的外接水管通過螺紋管旋接在背板上設(shè)置的螺紋水孔中；所述的背板和冷卻板之間開設(shè)有用于密封圈嵌入的并實現(xiàn)密封的密封圈槽；所述背板上設(shè)置有多個螺紋通孔，在冷卻板的內(nèi)側(cè)板面上對應(yīng)設(shè)置有螺紋沉孔，并通過螺釘將背板從下面固定在冷卻板的背面上；它具有結(jié)構(gòu)合理，使用方便等特點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及的是一種用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置，屬于真空磁控濺射鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

目前，在真空磁控濺射薄膜生產(chǎn)中，絕大多數(shù)生產(chǎn)廠商或研究機構(gòu)在柔性襯板上采用水冷板或冷卻轉(zhuǎn)輪的方式。其中水冷板是鋁板埋銅管的設(shè)計方式，在通過襯底與水冷板的表面接觸，使冷卻水在其銅管的循環(huán)流動，達(dá)到冷卻作用。其冷卻方式的冷卻水沒有與水冷板直接接觸，而是通過銅管后再與其接觸，這樣會使冷卻效果達(dá)不到最佳。其次通過銅管埋鋁板的工藝方式，會產(chǎn)生一個粘合度的問題，如果兩者之間有縫隙的話，就會影響散熱效果甚至出現(xiàn)漏水的情況。還有就是銅管與鋁板通過埋管的工藝連合起來，再通過打磨或者飛面的工藝進(jìn)行處理，使得整塊水冷散熱板形成一個平整的平面，銅管與鋁板是否有融合成一個平面了，有縫隙或不平整都會影響散熱效果。其工藝要求嚴(yán)格，難度大。此外舊方式的水冷板為整面平面接觸，襯底與其表面很難達(dá)到均勻接觸，可能導(dǎo)致接觸不緊密或者摩擦過大而使張力不穩(wěn)，導(dǎo)致工藝出錯，而且水冷板的整個面的加工平整精度要求極高，難度大。另外一種方式就是采用很大的冷卻轉(zhuǎn)輪，采用中空結(jié)構(gòu)，中間通入冷卻水，冷卻輪放置于鍍膜段的襯底背面從而達(dá)到冷卻效果。而為了達(dá)到鍍膜面積的要求，冷卻輪的直徑就必須很大，這就對鍍膜設(shè)備的空間大小提出了很高的要求，也對鍍膜過程產(chǎn)生了很大的限制。

隨著在柔性襯底如聚酰亞胺、PET等上進(jìn)行磁控濺射鍍膜技術(shù)的不斷發(fā)展與完善，隨著工藝要求的提高，對設(shè)備也提出了更好的要求。在工藝進(jìn)行時，大功率的磁控濺射會使襯底的溫度劇烈上升，高溫下的襯底會有褶皺彎曲的現(xiàn)象，非常不利于膜層的生長，影響鍍膜性能，故須要有高效的冷卻技術(shù)方法。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，而提供一種結(jié)構(gòu)合理，使用方便，冷卻效果好，能與襯底的發(fā)熱量匹配，改善襯底出現(xiàn)褶皺彎曲現(xiàn)象的用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置。

本實用新型的目的是通過如下技術(shù)方案來完成的，一種用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置，主要有一塊與柔性襯底接觸的冷卻板，所述的冷卻板與柔性襯底直接接觸并且緊貼在一起。

作為優(yōu)選：所述的冷卻板的背面開設(shè)有冷卻水槽，并在背面用密封圈配置有一塊將冷卻水槽密封其內(nèi)的背板，在冷卻板與背板之間形成有由冷卻水槽構(gòu)成的密閉冷卻水流道，一外接水管從背板接入與所述的冷卻水流道連通；所述的外接水管通過螺紋管旋接在背板上設(shè)置的螺紋水孔中；所述的背板和冷卻板之間開設(shè)有用于密封圈嵌入的并實現(xiàn)密封的密封圈槽；所述背板上設(shè)置有多個螺紋通孔，在冷卻板的內(nèi)側(cè)板面上對應(yīng)設(shè)置有螺紋沉孔，并通過螺釘將背板從下面固定在冷卻板的背面上。

作為優(yōu)選：所述的冷卻板上下方各安裝有左右兩根滑軌，背板通過兩側(cè)的固定支架及固定支架下部安裝的滑塊置于對應(yīng)的滑軌上；所述背板的前部或后部一側(cè)通過安裝的螺帽座與螺桿連接，所述的螺桿與電機連接并由該電機通過螺桿帶動冷卻板前后移動。

作為優(yōu)選：所述的冷卻板用銅板制成，冷卻板的表面為與襯底直接接觸的弧形表面，所述冷卻板的正前方上下兩側(cè)分別安裝有作為阻擋濺射物物質(zhì)附著于冷卻板上未被襯底覆蓋作用的擋板。

本實用新型具有如下優(yōu)點：

1、冷卻效果，