[實用新型]用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721563437.1
• 申請日: 2017-11-21
• 公開（公告）號: CN207828402U
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬琪偉;高錦龍;朱家寬;陸建嘉;張衛(wèi)衛(wèi);張情情;鐘華良;劉杰鵬;賀晨濤
• 申請（專利權(quán)）人: 旭科新能源股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 杭州九洲專利事務(wù)所有限公司 33101
• 代理人: 翁霽明

1.用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置，主要有一塊與柔性襯底接觸的冷卻板，其特征在于所述的冷卻板與柔性襯底直接接觸并且緊貼在一起。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置，其特征在于所述的冷卻板的背面開設(shè)有冷卻水槽，并在背面用密封圈配置有一塊將冷卻水槽密封其內(nèi)的背板，在冷卻板與背板之間形成有由冷卻水槽構(gòu)成的密閉冷卻水流道，一外接水管從背板接入與所述的冷卻水流道連通；所述的外接水管通過螺紋管旋接在背板上設(shè)置的螺紋水孔中；所述的背板和冷卻板之間開設(shè)有用于密封圈嵌入的并實現(xiàn)密封的密封圈槽；所述背板上設(shè)置有多個螺紋通孔，在冷卻板的內(nèi)側(cè)板面上對應(yīng)設(shè)置有螺紋沉孔，并通過螺釘將背板從下面固定在冷卻板的背面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置，其特征在于所述的冷卻板上下方各安裝有左右兩根滑軌，背板通過兩側(cè)的固定支架及固定支架下部安裝的滑塊置于對應(yīng)的滑軌上；所述背板的前部或后部一側(cè)通過安裝的螺帽座與螺桿連接，所述的螺桿與電機(jī)連接并由該電機(jī)通過螺桿帶動冷卻板前后移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于卷對卷磁控濺射鍍膜系統(tǒng)的柔性襯底實時冷卻裝置，其特征在于所述的冷卻板用銅板制成，冷卻板的表面為與襯底直接接觸的弧形表面，所述冷卻板的正前方上下兩側(cè)分別安裝有作為阻擋濺射物物質(zhì)附著于冷卻板上未被襯底覆蓋作用的擋板。