[實(shí)用新型]一種硅片冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721542815.8
• 申請(qǐng)日: 2017-11-17
• 公開（公告）號(hào): CN207676883U
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊健;黨繼東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種硅片冷卻裝置，其特征在于，包括箱體(1)，所述箱體(1)內(nèi)放置承載硅片的石英舟，所述箱體(1)的頂板和底板均設(shè)置有多個(gè)進(jìn)氣口(11)，所述進(jìn)氣口(11)通過進(jìn)氣管與進(jìn)氣裝置連通，所述箱體(1)相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁上均設(shè)置有排氣口(12)，所述排氣口(12)通過排氣管與抽氣裝置連通。

2.如權(quán)利要求1所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，所述箱體(1)的頂板和底板均設(shè)置有腔體(13)，所述進(jìn)氣口(11)設(shè)置于所述頂板和所述底板的內(nèi)層，所述腔體(13)分別與所述進(jìn)氣管和所述進(jìn)氣口(11)連通。

3.如權(quán)利要求1所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，所述頂板上的進(jìn)氣口(11)與所述底板上的進(jìn)氣口(11)交錯(cuò)設(shè)置。

4.如權(quán)利要求1所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，所述排氣口(12)位于所述箱體(1)的側(cè)壁的中部。

5.如權(quán)利要求1所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣口(11)的直徑為0.5-1.5cm。

6.如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，還包括溫度傳感器(2)及控制器，所述溫度傳感器(2)設(shè)置于所述箱體(1)內(nèi)，所述控制器分別與所述溫度傳感器(2)和所述抽氣裝置連接，所述控制器根據(jù)所述溫度傳感器(2)檢測到的所述箱體(1)內(nèi)的溫度控制所述抽氣裝置和所述進(jìn)氣裝置的啟停。

7.如權(quán)利要求6所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，還包括報(bào)警器(3)，所述報(bào)警器(3)與所述控制器連接。

8.如權(quán)利要求6所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管和所述排氣管均設(shè)置有流量閥，所述流量閥與所述控制器連接，所述控制器根據(jù)所述溫度傳感器(2)檢測到的所述箱體(1)內(nèi)的溫度控制所述流量閥允許通過的流量。

9.如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述箱體(1)的底板上的擱架(4)，所述石英舟放置在所述擱架(4)上。

10.如權(quán)利要求9所述的硅片冷卻裝置，其特征在于，還包括擋板(5)，所述擋板(5)設(shè)置于所述箱體(1)內(nèi)，所述擋板(5)上均布有通孔，所述擋板(5)上設(shè)置有所述擱架(4)。