[實用新型]溶液自動添加系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721539015.0
• 申請日: 2017-11-17
• 公開（公告）號: CN207491341U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設計）人: 謝金華;張奎;石浪;黃勇
• 申請（專利權）人: 奧士康科技股份有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06
• 代理公司: 長沙明新專利代理事務所(普通合伙) 43222
• 代理人: 徐新

1.一種溶液自動添加系統(tǒng)，用于向顯影退膜缸體中添加藥液和消泡劑，其特征在于，所述溶液自動添加系統(tǒng)包括：

藥液添加裝置，包括用于提供藥液的藥液源、底部設有出液管道的容器、用于將所述藥液源內的藥液輸送至所述容器內的進液管道以及虹吸管道，所述出液管道上設有第一控制閥，所述進液管道上設有液泵，所述虹吸管道的一端設于所述容器內，另一端設于所述容器外；

消泡劑添加裝置，包括用于提供消泡劑的消泡劑源以及與所述消泡劑源連通的輸出管路，所述輸出管路上沿消泡劑的輸出方向依次設有第二控制閥及流量控制閥；

控制裝置，包括用于檢測所述容器內的液位的液位檢測裝置及分別與所述第一控制閥、所述液泵、所述液位檢測裝置及所述第二控制閥連接的控制器，其中，

所述控制器用于控制所述第二控制閥的開閉以及根據(jù)所述液位檢測裝置的檢測值控制所述液泵向所述容器內加液至所述容器內的藥液達到第一預設液位；

當所述容器內的藥液達到所述第一預設液位后，所述虹吸管路可將所述容器內的藥液虹吸至所述容器外，以使得所述容器內的藥液可定容至第二預設液位，其中，所述第一預設液位大于所述第二預設液位；

當所述液位檢測裝置檢測到所述容器內的藥液定容至所述第二預設液位時，所述控制器還用于控制所述第一控制閥釋放藥液。

2.根據(jù)權利要求1所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述液位檢測裝置包括分別與所述控制器連接的第一液位傳感器和第二液位傳感器，所述控制器根據(jù)所述第一液位傳感器的檢測值控制所述液泵以及根據(jù)所述第二液位傳感器控制所述第一控制閥。

3.根據(jù)權利要求2所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述第一液位傳感器和所述第二液位傳感器設于所述容器的內壁上。

4.根據(jù)權利要求1所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器為可編輯邏輯控制器或單片機。

5.根據(jù)權利要求1所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述進液管道的出液端插入至所述容器的底部并與所述容器的底部形成一間隙。

6.根據(jù)權利要求1所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述容器為透明容器，且所述容器上刻有所述第一預設液位和所述第二預設液位的刻度。

7.根據(jù)權利要求1所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述虹吸管路包括設于所述容器內的虹吸口、設于所述容器外的出液口以及設于所述虹吸口和所述出液口之間的虹吸頂端，所述虹吸頂端不超過所述第一預設液位的高度。

8.根據(jù)權利要求7所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述出液口與所述藥液源連通。

9.根據(jù)權利要求7或8所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述容器的內壁上設有一溢流槽，所述溢流槽的開口與所述第二預設液位平齊，所述虹吸口位于所述溢流槽內。

10.根據(jù)權利要求7或8所述的溶液自動添加系統(tǒng)，其特征在于，所述虹吸口的高度不超過所述第二預設液位的高度，所述虹吸頂端設有一進氣管，所述進氣管上設有一與所述控制器連接的第三控制閥，當所述容器內的藥液被虹吸至所述第二預設液位時，所述控制器控制所述第三控制閥破壞虹吸效應，以使得所述容器內的藥液定容至所述第二預設液位。