[實(shí)用新型]電暈預(yù)電離電極、激光振蕩器和準(zhǔn)分子激光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721531816.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN207542555U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西坂敏博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 極光先進(jìn)雷射株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01S3/038
• 分類號(hào): H01S3/038
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝

本實(shí)用新型提供一種電暈預(yù)電離電極、激光振蕩器和準(zhǔn)分子激光裝置。該電暈預(yù)電離電極包括：電介質(zhì)管，預(yù)電離外電極和背面電極；所述電暈預(yù)電離電極還包括：固定管，其覆蓋所述背面電極的一部分；其中，所述背面電極的在電介質(zhì)管的預(yù)電離外電極存在的部分處的外徑形成為比所述固定管的內(nèi)徑大。由此，能夠充分獲得背面電極與周圍的金屬部件之間的絕緣距離，并且能夠?qū)崿F(xiàn)必要的預(yù)電離強(qiáng)度；從而即使在被施加了高電壓的背面電極尤其是電介質(zhì)管的端部處，也能杜絕或抑制因附近的金屬部件和背面電極而產(chǎn)生的異常放電。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種電暈預(yù)電離電極、激光振蕩器和準(zhǔn)分子激光裝置。

背景技術(shù)

伴隨著半導(dǎo)體集成電路的細(xì)微化、高集成化，在半導(dǎo)體曝光裝置中要求提高分辨率。以下將半導(dǎo)體曝光裝置簡稱為“曝光裝置”。因此，從曝光用光源輸出的光的波長在變短。在曝光用光源中代替現(xiàn)有的水銀燈而使用了氣體激光裝置。例如，使用輸出波長248nm的紫外線的KrF準(zhǔn)分子激光裝置以及輸出波長193nm的紫外線的ArF準(zhǔn)分子激光裝置，作為曝光用的氣體激光裝置。

準(zhǔn)分子激光裝置的激光震蕩器中，一般配置有電暈預(yù)電離(Coronapreionization)電極。其中，例如專利文獻(xiàn)1，該電暈預(yù)電離電極可以包括電介質(zhì)管、預(yù)電離外電極和背面電極。

專利文獻(xiàn)1：日本專利申請(qǐng)公開2007-81438號(hào)

應(yīng)當(dāng)注意，上面對(duì)背景技術(shù)的介紹只是為了方便對(duì)本申請(qǐng)的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的說明，并方便本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解而闡述的。不能僅僅因?yàn)檫@些方案在本申請(qǐng)的背景技術(shù)部分進(jìn)行了闡述而認(rèn)為上述技術(shù)方案為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知。

實(shí)用新型內(nèi)容

發(fā)明人發(fā)現(xiàn)：在現(xiàn)有的電暈預(yù)電離電極中，在被施加了高電壓的背面電極尤其是電介質(zhì)管的端部處，很容易因附近的金屬部件和背面電極而產(chǎn)生異常放電的情況。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種電暈預(yù)電離電極、激光振蕩器和準(zhǔn)分子激光裝置，即使在被施加了高電壓的背面電極尤其是電介質(zhì)管的端部處，也能杜絕或抑制因附近的金屬部件和背面電極而產(chǎn)生的異常放電。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第一方面，提供了一種電暈預(yù)電離電極，包括：電介質(zhì)管；預(yù)電離外電極，其與所述電介質(zhì)管的外表面接觸；背面電極，其插入到所述電介質(zhì)管中；

所述電暈預(yù)電離電極還包括：

固定管，其覆蓋所述背面電極的一部分；

其中，所述背面電極的在所述電介質(zhì)管的所述預(yù)電離外電極存在的部分處的外徑形成為比所述固定管的內(nèi)徑大。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第二方面，其中，所述電介質(zhì)管的內(nèi)徑形成為比所述固定管的外徑大。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第三方面，其中，所述電介質(zhì)管覆蓋所述固定管的一部分。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第四方面，其中，所述背面電極與所述固定管接觸的一側(cè)形成有錐形部，在所述錐形部處所述背面電極的外徑從所述一側(cè)的相反側(cè)向所述一側(cè)逐漸變小。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第五方面，其中，所述電介質(zhì)管在所述一側(cè)構(gòu)成為覆蓋所述固定管；所述固定管在所述一側(cè)構(gòu)成為覆蓋所述錐形部的一部分。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第六方面，其中，所述錐形部與所述背面電極的外徑較大的圓柱部接觸的第一部分、和所述錐形部與所述固定管接觸的第二部分通過平滑曲面連接。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第七方面，提供一種激光振蕩器，包括激光腔室；其中，所述激光腔室中配置有如上第一方面至第六方面任一項(xiàng)所述的電暈預(yù)電離電極。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第八方面，提供一種準(zhǔn)分子激光裝置，其中，所述準(zhǔn)分子激光裝置包括如上第七方面所述的激光振蕩器。