[實用新型]電暈預電離電極、激光振蕩器和準分子激光裝置有效
| 申請號: | 201721531816.2 | 申請日: | 2017-11-16 |
| 公開(公告)號: | CN207542555U | 公開(公告)日: | 2018-06-26 |
| 發明(設計)人: | 西坂敏博 | 申請(專利權)人: | 極光先進雷射株式會社 |
| 主分類號: | H01S3/038 | 分類號: | H01S3/038 |
| 代理公司: | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人: | 李輝 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 背面電極 預電離電極 電暈 電介質管 預電離 激光振蕩器 準分子激光 金屬部件 固定管 外電極 本實用新型 絕緣距離 異常放電 高電壓 施加 覆蓋 | ||
1.一種電暈預電離電極,包括:電介質管;預電離外電極,其與所述電介質管的外表面接觸;背面電極,其插入到所述電介質管中;
其特征在于,所述電暈預電離電極還包括:
固定管,其覆蓋所述背面電極的一部分;
其中,所述背面電極的在所述電介質管的所述預電離外電極存在的部分處的外徑形成為比所述固定管的內徑大。
2.根據權利要求1所述的電暈預電離電極,其中,所述電介質管的內徑形成為比所述固定管的外徑大。
3.根據權利要求1所述的電暈預電離電極,其中,所述電介質管覆蓋所述固定管的一部分。
4.根據權利要求1所述的電暈預電離電極,其中,所述背面電極與所述固定管接觸的一側形成有錐形部,在所述錐形部處所述背面電極的外徑從所述一側的相反側向所述一側逐漸變小。
5.根據權利要求4所述的電暈預電離電極,其中,所述電介質管在所述一側構成為覆蓋所述固定管;所述固定管在所述一側構成為覆蓋所述錐形部的一部分。
6.根據權利要求4所述的電暈預電離電極,其中,所述錐形部與所述背面電極的外徑較大的圓柱部接觸的第一部分、和所述錐形部與所述固定管接觸的第二部分通過平滑曲面連接。
7.一種激光振蕩器,包括激光腔室;其特征在于,所述激光腔室中配置有如權利要求1至6任一項所述的電暈預電離電極。
8.一種準分子激光裝置,其特征在于,所述準分子激光裝置包括如權利要求7所述的激光振蕩器。
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