[實用新型]研磨裝置有效
| 申請號： | 201721507385.6 | 申請日： | 2017-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN208584372U | 公開（公告）日： | 2019-03-08 |
| 發明（設計）人： | 白井明;川合巖男;宮本裕慈 | 申請（專利權）人： | 白井科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00;B24B55/02;B24B55/06;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京高沃律師事務所 11569 | 代理人： | 王加貴 |
| 地址： | 日本國大阪府東*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 研磨裝置 基板 本實用新型 混合流體 洗滌噴嘴 供給路 中空 蓋側 基材 桌臺 進退移動 兩端連通 嵌入基板 移動手段 噴嘴 流入端 排出口 吐出口 洗滌水 研磨緣 飛散 碎屑 研削 噴射 吸引 開口 流出 覆蓋 配置 | ||
【權利要求書】：
1.一種研磨裝置，其特征在于，包括：
附有吸引功能的桌臺，其上面是保持供給載置的基板；
旋轉砥石，在該桌臺前方研磨由該桌臺前緣突出的該基板邊緣；
蓋，覆蓋該旋轉砥石外側，且具有用以從該桌臺側周壁嵌入該基板的研磨邊緣部分的開口；
排出口，與該蓋的底面連通設置；
移動裝置，使該桌臺或該蓋于左右方向進退移動；
左右方向為長型的兩基材，支持于該蓋側，并配置于該基板的研磨邊緣的上下側；
左右方向為中空的多個集蓄部，設置于該兩基材內；
上側洗滌噴嘴及下側洗滌噴嘴，在中空的該集蓄部兩端連通流入端，并使該上側洗滌噴嘴及該下側洗滌噴嘴的流出口朝向該基板的研磨邊緣；
上側供給路及下側供給路，設置為在該些集蓄部的中間供給洗滌水與空氣的混合流體；以及
噴嘴，支持于該蓋側，并往該旋轉砥石與該基板的研磨部位噴射研削水與空氣的混合流體。
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