[實用新型]晶圓片承載盒

有效

• 申請號: 201721506301.7
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN207474434U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 吳功;歐志榮
• 申請（專利權）人: 上海大族富創得科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海翰信知識產權代理事務所(普通合伙) 31270
• 代理人: 張維東

1.一種晶圓片承載盒，其特征在于，包括：

盒體，所述盒體具有一開口；

密封門，所述密封門與所述開口配合連接；

支撐架裝置，所述支撐架裝置通過所述開口可放置在所述盒體內部；

其中，所述支撐架裝置包括一個框架和至少兩個相對設置的承載板，所述承載板固定在框架上，且相對設置的兩個所述承載板的相對面上設置有與晶圓片配合的狹槽。

2.如權利要求1所述的晶圓片承載盒，其特征在于，所述框架包括第一安裝固定板、第二安裝固定板和支撐板，所述支撐板的兩端分別連接所述第一安裝固定板和所述第二安裝固定板，其中，所述承載板的兩端分別連接所述第一安裝固定板和所述第二安裝固定板。

3.如權利要求2所述的晶圓片承載盒，其特征在于，所述承載板還有所述支撐板連接。

4.如權利要求2所述的晶圓片承載盒，其特征在于，所述第一安裝固定板和所述第二安裝固定板的形狀分別與所述盒體的橫截面形狀相適配。

5.如權利要求2所述的晶圓片承載盒，其特征在于，所述第一安裝固定板和所述第二安裝固定板分別具有挖孔槽。

6.如權利要求2所述的晶圓片承載盒，其特征在于，所述支撐架裝置還包括支撐柱，所述支撐柱與第二安裝固定板連接。

7.如權利要求1所述的晶圓片承載盒，其特征在于，所述承載板的數量為四個。

8.如權利要求1所述的晶圓片承載盒，其特征在于，還包括限位壓緊裝置，所述限位壓緊裝置與所述盒體連接，用于壓緊晶圓片。

9.如權利要求8所述的晶圓片承載盒，其特征在于，所述限位壓緊裝置包括頂住安裝板、彈簧固定筒、彈簧和壓緊柱，所述頂住安裝板上設置有多個套孔，所述套孔沿著所述頂住安裝板的長度方向排列設置，每個所述套孔內分別套設有一個所述彈簧固定筒，所述彈簧固定筒具有一開口端，所述彈簧和所述壓緊柱依次從所述彈簧固定筒的開口端塞入，所述壓緊柱在所述彈簧的作用下壓緊晶圓片。

10.如權利要求9所述的晶圓片承載盒，其特征在于，所述彈簧固定筒的開口端直徑小于所述彈簧固定筒內部的直徑，所述壓緊柱與所述彈簧固定筒的配合端直徑大于所述壓緊柱與晶圓片的配合端直徑，并且，所述壓緊柱與所述彈簧固定筒的配合端位于所述彈簧固定筒內部。