[實用新型]RIE設(shè)備硅片載板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721485383.1 | 申請日： | 2017-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN207338300U | 公開（公告）日： | 2018-05-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 朱海劍;莊正軍;岳坤 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州比太科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11578 | 代理人： | 張紅;程立民 |
| 地址： | 213164 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | rie 設(shè)備 硅片 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種RIE設(shè)備硅片載板，其特征在于，包括：載板主體，以及設(shè)置在所述載板主體上用于間隔硅片的限位凸塊并形成若干硅片定位區(qū)；
所述載板主體的側(cè)邊間隔設(shè)置有臺階凹槽，所述臺階凹槽內(nèi)通過沉頭鋁螺絲安裝有卡點鋁塊；
所述卡點鋁塊上設(shè)置有對應(yīng)所述載板主體并用于硅片限位的卡點。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RIE設(shè)備硅片載板，其特征在于，每個位于所述載板主體兩側(cè)的所述硅片定位區(qū)均對應(yīng)設(shè)置有兩個所述卡點鋁塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的RIE設(shè)備硅片載板，其特征在于，每個所述卡點鋁塊上設(shè)置有兩個所述卡點。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的RIE設(shè)備硅片載板，其特征在于，所述卡點與所述卡點鋁塊一體制作而成。
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