[實用新型]RIE設備硅片載板

有效

• 申請號: 201721485383.1
• 申請日: 2017-11-08
• 公開（公告）號: CN207338300U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 朱海劍;莊正軍;岳坤
• 申請（專利權）人: 常州比太科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/687
• 代理公司: 北京集智東方知識產權代理有限公司 11578
• 代理人: 張紅;程立民

本實用新型公開了一種RIE設備硅片載板，包括：載板主體，以及設置在載板主體上用于間隔硅片的限位凸塊并形成若干硅片定位區；載板主體的側邊間隔設置有臺階凹槽，臺階凹槽內通過沉頭鋁螺絲安裝有卡點鋁塊；卡點鋁塊上設置有對應載板主體并用于硅片限位的卡點。該實用新型由載板主體和卡點鋁塊組成，載板主體最外兩側加工出一個個臺階凹槽，卡點鋁塊通過沉頭鋁螺絲固定在載板主體的臺階凹槽內，每個卡點鋁塊設置有兩個卡點，該種結構在使用、運輸、清洗過程中，如果出現卡點脫落、損壞的情況，可以立即替換相應的卡點鋁塊，迅速修復，大幅降低了成本和維護時間，且加工簡單，便于保證裝配、定位精度。

技術領域

本實用新型涉及一種載板，特別涉及一種RIE設備硅片載板。

背景技術

參考圖1-2，傳統的RIE設備硅片載板是由一整塊鋁板加工而成載板主體10，并在載板主體10邊緣側加工出一個個卡點11。由于傳統載板上最外兩側卡點11較小，在使用、運輸、清洗過程中，最外側卡點11極易脫落、損壞，從而導致整塊載板無法使用，浪費較大，同時影響產能。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種RIE設備硅片載板，包括：載板主體，以及設置在所述載板主體上用于間隔硅片的限位凸塊并形成若干硅片定位區；

所述載板主體的側邊間隔設置有臺階凹槽，所述臺階凹槽內通過沉頭鋁螺絲安裝有卡點鋁塊；

所述卡點鋁塊上設置有對應所述載板主體并用于硅片限位的卡點。

其中，每個位于所述載板主體兩側的所述硅片定位區均對應設置有兩個所述卡點鋁塊。

其中，每個所述卡點鋁塊上設置有兩個所述卡點。

其中，所述卡點與所述卡點鋁塊一體制作而成。

通過上述技術方案，本實用新型通過將載板分為兩部分，由載板主體和卡點鋁塊組成，載板主體最外兩側加工出一個個臺階凹槽，卡點鋁塊通過沉頭鋁螺絲固定在載板主體的臺階凹槽內，每個卡點鋁塊設置有兩個卡點，該種結構的優勢：

①在使用、運輸、清洗過程中，如果出現卡點脫落、損壞的情況，可以立即替換相應的卡點鋁塊，迅速修復，大幅降低了成本和維護時間；

②此結構加工簡單，便于保證裝配、定位精度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為現有技術的一種硅片載板結構示意圖；

圖2為圖1中A部放大結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例所公開的硅片載板主視結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例所公開的硅片載板側視結構示意圖；

圖5為圖4中B部放大結構示意圖；

圖6為本實用新型實施例所公開的卡點鋁塊立體結構示意圖。

圖中數字表示：

10.載板主體 11.卡點 20.載板主體

21.卡點鋁塊 22.沉頭鋁螺絲 23.卡點。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。