[實用新型]一種涂膠機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721485004.9 | 申請日： | 2017-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN207746007U | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張衛(wèi)麗;朱景河;王學雷;方金波;黃偉東;李建華 | 申請（專利權(quán)）人： | 信利（惠州）智能顯示有限公司 |
| 主分類號： | B05B13/00 | 分類號： | B05B13/00;B05B13/02;B05B14/00;B05B15/68 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 楊利娟 |
| 地址： | 516029 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光刻膠 保護罩 不粘層 本實用新型 承載座 內(nèi)壁 外壁保護層 涂膠機 半導(dǎo)體制作技術(shù) 不良缺陷 承載基板 摩擦系數(shù) 設(shè)計結(jié)構(gòu) 向下流動 噴嘴 皇冠狀 球冠狀 上內(nèi)壁 基板 濺射 甩出 涂覆 涂抹 凝結(jié) | ||
1.一種涂膠機，包括用于承載基板的承載座（1）和設(shè)于承載座（1）上方的噴嘴（2）和保護罩（3），其特征在于：所述保護罩包括外壁保護層和內(nèi)壁不粘層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠機，其特征在于：所述保護罩（3）為球冠狀或皇冠狀，環(huán)繞設(shè)置于承載座（1）的上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠機，其特征在于：所述內(nèi)壁不粘層是聚四氟乙烯層或聚甲基硅氧烷層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠機，其特征在于：所述涂膠機還包括用于驅(qū)動承載座（1）升降和旋轉(zhuǎn)的第一驅(qū)動機構(gòu)（4）。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂膠機，其特征在于：所述涂膠機還包括與保護罩（3）下端連接的回收罩（5）。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的涂膠機，其特征在于：所述保護罩（3）下端與回收罩（5）之間為可拆卸連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6任一項所述的涂膠機，其特征在于：所述涂膠機還包括驅(qū)動噴嘴（2）運動的第二驅(qū)動機構(gòu)（6）。
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