[實(shí)用新型]一種PECVD爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721482014.7
• 申請日: 2017-11-08
• 公開（公告）號: CN207483845U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉榮文;褚玉寶;孫洪文;沈歡;吳軍蘭;甘職著
• 申請（專利權(quán)）人: 中贛新能源股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 南昌贛專知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 36129
• 代理人: 文珊;張文宣

本實(shí)用新型公開一種PECVD爐，包括有爐體、密封蓋、密封塞，爐體呈管狀，爐體上設(shè)有第一氣壓管，密封塞與爐體的內(nèi)管口密封配合，密封蓋設(shè)于密封塞遠(yuǎn)離爐體的一側(cè)，密封蓋與密封塞相對的一側(cè)設(shè)有凹槽，密封蓋上設(shè)有第二氣壓管，第二氣壓管一端設(shè)于凹槽內(nèi)，第二氣壓管的另一端貫穿凹槽的側(cè)壁；密封蓋與爐體的外管口密封連接；密封蓋、密封塞及爐體把凹槽封閉成一個(gè)密封空間。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型能提高管內(nèi)溫度均勻性，簡化密封與解密封的過程，提高密封性能，提高加工效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽能電池片生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種PECVD爐。

背景技術(shù)

隨著多晶硅太陽能電池片生產(chǎn)技術(shù)的日漸成熟，行業(yè)對生產(chǎn)電池片的設(shè)備精度要求越來越高。太陽能硅片在加工的過程中需要用到PECVD設(shè)備。PECVD設(shè)備是通過一個(gè)密閉的管子來實(shí)現(xiàn)工藝生產(chǎn)，主要組成部分是一根兩頭通透的石英管，外加兩套法蘭及爐門將其合并起來，組成一個(gè)密封體，然后用真空泵將其內(nèi)部抽成真空狀態(tài)，往管子內(nèi)部通入氨氣、硅烷等特殊氣體進(jìn)行反應(yīng)。其中，溫度、密封性能對產(chǎn)品的質(zhì)量有重大影響，目前的設(shè)備在靠近管口的位置的溫度往往比管內(nèi)其他地方的溫度略低，這會(huì)降低產(chǎn)品質(zhì)量；另外，目前的設(shè)備的密封性能不夠好，容易造成漏氣現(xiàn)象，而且其密封與解密封的過程繁雜，降低加工效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有的技術(shù)缺陷，提供了一種PECVD爐，其能提高管內(nèi)溫度均勻性，簡化密封與解密封的過程，提高密封性能，提高加工效率。其具體的技術(shù)方案如下：

本實(shí)用新型公開一種PECVD爐，包括有爐體、密封蓋、密封塞，爐體呈管狀，爐體上設(shè)有第一氣壓管，密封塞與爐體的內(nèi)管口密封配合，密封蓋設(shè)于密封塞遠(yuǎn)離爐體的一側(cè)，密封蓋與密封塞相對的一側(cè)設(shè)有凹槽，密封蓋上設(shè)有第二氣壓管，第二氣壓管一端設(shè)于凹槽內(nèi)，第二氣壓管的另一端貫穿凹槽的側(cè)壁；密封蓋與爐體的外管口密封連接；密封蓋、密封塞及爐體把凹槽封閉成一個(gè)密封空間。

進(jìn)一步地，密封塞的插入端設(shè)于爐體的內(nèi)部，密封塞的密封端設(shè)有第一裙板，爐體的內(nèi)管口邊緣設(shè)有第一沉臺(tái)，第一裙板與第一沉臺(tái)配合，第一裙板與第一沉臺(tái)之間設(shè)有第一密封層。

進(jìn)一步地，爐體的外管口邊緣設(shè)有第二裙板，第二裙板與密封蓋板相對的一側(cè)設(shè)有第二沉臺(tái)；密封蓋的端部側(cè)壁與第二沉臺(tái)配合，第二沉臺(tái)與第二裙板之間設(shè)有第二密封層。

進(jìn)一步地，密封塞上設(shè)有隔熱層，隔熱層設(shè)于密封塞的密封端端面。

進(jìn)一步地，凹槽內(nèi)設(shè)有連接座，連接座設(shè)有導(dǎo)向孔，導(dǎo)向孔的孔口面積小于導(dǎo)向孔的內(nèi)徑截面積；密封塞設(shè)有導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿設(shè)于密封塞與凹槽相對的一側(cè)，導(dǎo)向桿與導(dǎo)向孔配合，導(dǎo)向桿遠(yuǎn)離密封塞的一端設(shè)有限定塊，限定塊的面積大于導(dǎo)向孔的孔口面積。

進(jìn)一步地，密封蓋與爐體相對的端面?zhèn)缺谠O(shè)有連接桿，連接桿遠(yuǎn)離密封蓋的一端與爐體外壁螺紋連接。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型的密封蓋、密封塞及爐體把凹槽封閉成一個(gè)密封空間，通過改變凹槽內(nèi)的氣壓與爐體內(nèi)的氣壓，使兩者之間形成一個(gè)壓力差，從而使密封塞進(jìn)入或退出爐體內(nèi)管，從而對爐體的管口進(jìn)行密封或解密封，簡化密封或解密封的過程，提高效率；爐體工作時(shí)，凹槽內(nèi)為真空狀態(tài)，可以對爐體管口形成真空保溫作用，提高爐體內(nèi)溫度的均勻性；密封蓋與爐體端口密封連接，可進(jìn)一步增加爐體的密封性能。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的零部件組合示意圖。

圖中標(biāo)注：爐體100，第一氣壓管101，第一沉臺(tái)102，第二沉臺(tái)103，第二裙板104，密封蓋200，第二氣壓管201，連接座202，凹槽203，連接桿204，密封塞300，第一裙板301，隔熱層302，導(dǎo)向桿303，限定塊304，第二密封層400，第一密封層500。

具體實(shí)施方式