[實用新型]一種PECVD爐

有效

• 申請號: 201721482014.7
• 申請日: 2017-11-08
• 公開（公告）號: CN207483845U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 葉榮文;褚玉寶;孫洪文;沈歡;吳軍蘭;甘職著
• 申請（專利權）人: 中贛新能源股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 南昌贛專知識產權代理有限公司 36129
• 代理人: 文珊;張文宣

1.一種PECVD爐，包括有爐體(100)、密封蓋(200)、密封塞(300)，所述爐體(100)呈管狀，所述爐體(100)上設有第一氣壓管(101)，所述密封塞(300)與所述爐體(100)的內管口密封配合，所述密封蓋(200)設于所述密封塞(300)遠離所述爐體(100)的一側，所述密封蓋(200)與所述密封塞(300)相對的一側設有凹槽(203)，所述密封蓋(200)上設有第二氣壓管(201)，所述第二氣壓管(201)一端設于所述凹槽(203)內，所述第二氣壓管(201)的另一端貫穿所述凹槽(203)的側壁；所述密封蓋(200)與所述爐體(100)的外管口密封連接；所述密封蓋(200)、所述密封塞(300)及所述爐體(100)把所述凹槽(203)封閉成一個密封空間。

2.如權利要求1所述的PECVD爐，其特征在于，所述密封塞(300)插入端設于所述爐體(100)的內部，所述密封塞(300)的密封端設有第一裙板(301)，所述爐體(100)的內管口邊緣設有第一沉臺(102)，所述第一裙板(301)與所述第一沉臺(102)配合，所述第一裙板(301)與所述第一沉臺(102)之間設有第一密封層(500)。

3.如權利要求2所述的PECVD爐，其特征在于，所述爐體(100)的外管口邊緣設有第二裙板(104)，所述第二裙板(104)與所述密封蓋(200)板相對的一側設有第二沉臺(103)；所述密封蓋(200)的端部側壁與所述第二沉臺(103)配合，所述第二沉臺(103)與所述第二裙板(104)之間設有第二密封層(400)。

4.如權利要求3所述的PECVD爐，其特征在于，所述密封塞(300)上設有隔熱層(302)，所述隔熱層(302)設于所述密封塞(300)的密封端端面。

5.如權利要求1所述的PECVD爐，其特征在于，所述凹槽(203)內設有連接座(202)，所述連接座(202)設有導向孔，所述導向孔的孔口面積小于所述導向孔的內徑截面積；所述密封塞(300)設有導向桿(303)，所述導向桿(303)設于所述密封塞(300)與所述凹槽(203)相對的一側，所述導向桿(303)與所述導向孔配合，所述導向桿(303)遠離所述密封塞(300)的一端設有限定塊(304)，所述限定塊(304)的面積大于所述導向孔的孔口面積。

6.如權利要求1所述的PECVD爐，其特征在于，所述密封蓋(200)與所述爐體(100)相對的端面側壁設有連接桿(204)，所述連接桿(204)遠離所述密封蓋(200)的一端與所述爐體(100)外壁螺紋連接。