[實用新型]一種用于砷化鎵生產的熱場裝置

有效

• 申請號: 201721475709.2
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN207418915U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 王文昌;于會永;張軍軍;趙春峰;袁韶陽;荊愛明;穆成鋒
• 申請（專利權）人: 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
• 主分類號: C30B29/42
• 分類號: C30B29/42;C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，涉及砷化鎵生產設備領域，包括爐體、保溫筒、電加熱筒、坩堝托架、坩堝和導流筒，電加熱筒上設有用于將電加熱筒連接在電路中的電極，所述的保溫筒的下沿設置有托環，托環的外沿連接有吊繩，所述的爐體內側的上沿設置有掛鉤，所述的吊繩的上端掛在掛鉤上，所述的保溫筒的下方設置有保溫板，保溫筒的下沿設置有截面為梯形的環形凸起，環形凸起插裝在保溫板上的凹槽內，所述的電極的外側設置有圓錐面，該圓錐面與保溫板上的圓錐孔相匹配，從而實現對電加熱筒的定位。本實用新型在保溫筒底部設置了托環，通過吊繩可將托環連同保溫筒一同吊起，與現有技術相比，可有效避免保溫筒的損傷。

技術領域

本實用新型屬于砷化鎵生產設備領域，尤其涉及一種用于砷化鎵生產的熱場裝置。

背景技術

熱場裝置是砷化鎵晶體生產過程中應用的一種重要設備，其功能是為砷化鎵晶體的生長過程提供適宜的溫度環境。熱場裝置的結構通常包括爐體、保溫筒、電加熱筒、坩堝托架、坩堝和導流筒，使用熱場裝置進行生產時，需要在每個生產周期后將保溫筒從爐體內抬出。而現有技術中，通常采用人力搬運的方式將抬出保溫筒，這種方式不但占用較多的人力，而且容易對石墨制成的保溫筒造成損傷。

發明內容

本實用新型提供一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

本實用新型所解決的技術問題采用以下技術方案來實現：本實用新型提供了一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，包括爐體、保溫筒、電加熱筒、坩堝托架、坩堝和導流筒，電加熱筒上設有用于將電加熱筒連接在電路中的電極，所述的保溫筒的下沿設置有托環，托環的外沿連接有吊繩，所述的爐體內側的上沿設置有掛鉤，所述的吊繩的上端掛在掛鉤上，所述的保溫筒的下方設置有保溫板，保溫筒的下沿設置有截面為梯形的環形凸起，環形凸起插裝在保溫板上的凹槽內，從而實現對保溫筒的固定，所述的電極的外側設置有圓錐面，該圓錐面與保溫板上的圓錐孔相匹配，從而實現對電加熱筒的定位。

所述的托環由金屬鎢制成。所述的保溫筒和保溫板均由石墨制成。

本實用新型的有益效果為：

1、本實用新型在保溫筒底部設置了托環，通過吊繩可將托環連同保溫筒一同吊起，與現有技術相比，可有效避免保溫筒的損傷。

2、本實用新型在現有技術基礎上加設了保溫板，通過保溫板可進一步提高保溫效果，節約能耗。

3、本實用新型采用插接結構將保溫筒安裝在保溫板上，使保溫筒和保溫板完好銜接，避免了冷橋效應。

4、本實用新型將電極通過錐形結構安裝在保溫板上，使電加熱筒的裝配更加容易，定位也更加準確。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是圖1中A處的局部放大圖。

圖中，1-爐體，2-電極，3-保溫筒，4-電加熱筒，5-坩堝，6-吊繩，7-掛鉤，8-導流筒，9-坩堝托架，10-環形凸起，11-圓錐面，12-托環，13-保溫板。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型做進一步描述：

本實施例包括爐體1、保溫筒3、電加熱筒4、坩堝托架9、坩堝5和導流筒8，電加熱筒4上設有用于將電加熱筒4連接在電路中的電極2。以上為現有技術中的通用結構在此不再贅述。

所述的保溫筒3的下沿設置有托環12，托環12的外沿連接有吊繩6，所述的爐體1內側的上沿設置有掛鉤7，所述的吊繩6的上端掛在掛鉤7上。本實用新型在保溫筒3底部設置了托環12，通過吊繩6可將托環12連同保溫筒3一同吊起，與現有技術相比，可有效避免保溫筒3的損傷。