[實用新型]一種用于砷化鎵生產的熱場裝置

有效

• 申請號: 201721475709.2
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN207418915U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 王文昌;于會永;張軍軍;趙春峰;袁韶陽;荊愛明;穆成鋒
• 申請（專利權）人: 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
• 主分類號: C30B29/42
• 分類號: C30B29/42;C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，包括爐體(1)、保溫筒(3)、電加熱筒(4)、坩堝托架(9)、坩堝(5)和導流筒(8)，電加熱筒(4)上設有用于將電加熱筒(4)連接在電路中的電極(2)，其特征在于：所述的保溫筒(3)的下沿設置有托環(12)，托環(12)的外沿連接有吊繩(6)，所述的爐體(1)內側的上沿設置有掛鉤(7)，所述的吊繩(6)的上端掛在掛鉤(7)上，所述的保溫筒(3)的下方設置有保溫板(13)，保溫筒(3)的下沿設置有截面為梯形的環形凸起(10)，環形凸起(10)插裝在保溫板(13)上的凹槽內，從而實現對保溫筒(3)的固定，所述的電極(2)的外側設置有圓錐面(11)，該圓錐面(11)與保溫板(13)上的圓錐孔相匹配，從而實現對電加熱筒(4)的定位。

2.根據權利要求1所述的一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，其特征在于：所述的托環(12)由金屬鎢制成。

3.根據權利要求1所述的一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，其特征在于：所述的保溫筒(3)和保溫板(13)均由石墨制成。