[實用新型]一種砷化鎵晶片樣品保存裝置

有效

• 申請號: 201721470469.7
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN207303060U
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發明（設計）人: 王文昌;于會永;荊愛明;穆成鋒;張軍軍;趙春峰;袁韶陽
• 申請（專利權）人: 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種砷化鎵晶片樣品保存裝置，其特征在于：包括箱體(2)和插在箱體(2)內的抽拉盒(3)，所述的箱體(2)頂部設置有提手(4)，箱體(2)的底部設置有緩沖組件(1)，所述的抽拉盒(3)共有兩列，每個抽拉盒(3)上朝向箱體(2)背面的一側與箱體(2)之間通過一個單獨的反彈自鎖器(5)連接，反彈自鎖器(5)的主體部分固定安裝在箱體(2)上，反彈自鎖器(5)的鎖舌(6)固定安裝在抽拉盒(3)上，所述的抽拉盒(3)內設置有墊板(11)，墊板(11)上設置有與晶片的直徑相適應的晶片槽(10)，在不同的抽拉盒(3)內，墊板(11)上的晶片槽(10)可以相同，也可以不同，所述的墊板(11)的上方設置有壓板(12)，壓板(12)鉸接在抽拉盒(3)的邊緣。

2.根據權利要求1所述的一種砷化鎵晶片樣品保存裝置，其特征在于：所述的緩沖組件(1)的結構包括滑套(7)和滑桿(9)，滑桿(9)插裝在滑套(7)內，滑桿(9)上套有起緩沖作用的彈簧(8)，彈簧(8)的兩端夾在滑套(7)和滑桿(9)之間。

3.根據權利要求1所述的一種砷化鎵晶片樣品保存裝置，其特征在于：所述的墊板(11)和壓板(12)均由泡沫制成。