[實(shí)用新型]一種壓力傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721464547.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-06
• 公開（公告）號(hào): CN207472465U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鞏向輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 歌爾科技有限公司
• 主分類號(hào): G01L1/22
• 分類號(hào): G01L1/22
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 王昭智;馬佑平

本實(shí)用新型涉及一種壓力傳感器，包括襯底，所述襯底上設(shè)置有四個(gè)內(nèi)腔，還包括設(shè)置在襯底上的敏感膜，所述敏感膜覆蓋所述四個(gè)內(nèi)腔；在所述敏感膜上對(duì)應(yīng)每個(gè)內(nèi)腔的位置分別設(shè)置有一組壓敏電阻，每組壓敏電阻包括至少兩個(gè)串聯(lián)在一起的壓敏電阻；所述敏感膜上對(duì)應(yīng)四個(gè)內(nèi)腔區(qū)域的四組壓敏電阻各作為惠斯通電橋的一個(gè)臂，共同構(gòu)成了信號(hào)輸出的惠斯通電橋。本實(shí)用新型的壓力傳感器，通過在襯底上設(shè)置多腔，以及與多腔對(duì)應(yīng)的多個(gè)壓敏電阻，使得在一定的體積內(nèi)，可以布置更多的壓敏電阻，從而有效提高壓阻式氣壓傳感器的靈敏度和分辨率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及測(cè)量領(lǐng)域，更具體地，涉及一種傳感器，尤其涉及一種壓力傳感器。

背景技術(shù)

現(xiàn)行的技術(shù)方案中，壓力傳感器主要有電容式和壓阻式兩種，其中，壓阻式壓力傳感器是通過離子注入的方法，在壓力敏感膜上制作壓敏電阻條，形成惠斯通電橋，壓力敏感膜是平整的。當(dāng)外界的壓力變化時(shí)，會(huì)使壓力敏感膜發(fā)生向上或向下的形變，導(dǎo)致壓敏電阻條的阻值發(fā)生變化，從而通過惠斯通電橋檢測(cè)到外界壓力的變化。

但是這種結(jié)構(gòu)的壓力傳感器，普遍存在靈敏度低、分辨率小的缺點(diǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的一個(gè)目的是提供了一種壓力傳感器。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供一種壓力傳感器，包括襯底，所述襯底上設(shè)置有四個(gè)內(nèi)腔，還包括設(shè)置在襯底上的敏感膜，所述敏感膜覆蓋所述四個(gè)內(nèi)腔；在所述敏感膜上對(duì)應(yīng)每個(gè)內(nèi)腔的位置分別設(shè)置有一組壓敏電阻，每組壓敏電阻包括至少兩個(gè)串聯(lián)在一起的壓敏電阻；所述敏感膜上對(duì)應(yīng)四個(gè)內(nèi)腔區(qū)域的四組壓敏電阻各作為惠斯通電橋的一個(gè)臂，共同構(gòu)成了信號(hào)輸出的惠斯通電橋。

可選地，所述每個(gè)壓敏電阻的基本阻值是相同的。

可選地，所述襯底上的敏感膜是一張整體膜。

可選地，所述敏感膜的數(shù)量與內(nèi)腔的數(shù)量相對(duì)應(yīng)，每張敏感膜對(duì)應(yīng)一個(gè)內(nèi)腔。

可選地，每組壓敏電阻中的多個(gè)串聯(lián)在一起的壓敏電阻均勻分布在對(duì)應(yīng)內(nèi)腔的上方。

可選地，每組壓敏電阻設(shè)置有四個(gè)串聯(lián)在一起的壓敏電阻，該四個(gè)壓敏電阻圍成矩形或者圓形。

可選地，每個(gè)壓敏電阻包括重?fù)诫s區(qū)和輕摻雜區(qū)；所述每個(gè)壓敏電阻的重?fù)诫s區(qū)通過導(dǎo)電部引出。

可選地，所述內(nèi)腔設(shè)置有N個(gè)，N為4的整數(shù)倍，且不等于4；其中，每N/4個(gè)內(nèi)腔上方對(duì)應(yīng)的壓敏電阻串聯(lián)在一起共同作為惠斯通電橋的一個(gè)臂，四個(gè)臂共同構(gòu)成了信號(hào)輸出的惠斯通電橋。

本實(shí)用新型的壓力傳感器，通過在襯底上設(shè)置多腔，以及與多腔對(duì)應(yīng)的多個(gè)壓敏電阻，使得在一定的體積內(nèi)，可以布置更多的壓敏電阻，從而有效提高壓阻式氣壓傳感器的靈敏度和分辨率。

通過以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。

附圖說明

構(gòu)成說明書的一部分的附圖描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，并且連同說明書一起用于解釋本實(shí)用新型的原理。

圖1是本實(shí)用新型壓力傳感器上形成的壓敏電阻的示意圖。

圖2是本實(shí)用新型壓力傳感器其中一個(gè)內(nèi)腔位置的剖面圖。

圖3是圖1中壓力傳感器信號(hào)輸出的電路原理示意圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在將參照附圖來詳細(xì)描述本實(shí)用新型的各種示例性實(shí)施例。應(yīng)注意到：除非另外具體說明，否則在這些實(shí)施例中闡述的部件和步驟的相對(duì)布置、數(shù)字表達(dá)式和數(shù)值不限制本實(shí)用新型的范圍。

以下對(duì)至少一個(gè)示例性實(shí)施例的描述實(shí)際上僅僅是說明性的，決不作為對(duì)本實(shí)用新型及其應(yīng)用或使用的任何限制。