[實用新型]一種壓力傳感器

有效

• 申請號: 201721464547.2
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN207472465U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 鞏向輝
• 申請（專利權）人: 歌爾科技有限公司
• 主分類號: G01L1/22
• 分類號: G01L1/22
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 王昭智;馬佑平

1.一種壓力傳感器，其特征在于：包括襯底，所述襯底上設置有四個內腔，還包括設置在襯底上的敏感膜，所述敏感膜覆蓋所述四個內腔；在所述敏感膜上對應每個內腔的位置分別設置有一組壓敏電阻，每組壓敏電阻包括至少兩個串聯在一起的壓敏電阻；所述敏感膜上對應四個內腔區域的四組壓敏電阻各作為惠斯通電橋的一個臂，共同構成了信號輸出的惠斯通電橋。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：所述每個壓敏電阻的基本阻值是相同的。

3.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：所述襯底上的敏感膜是一張整體膜。

4.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：所述敏感膜的數量與內腔的數量相對應，每張敏感膜對應一個內腔。

5.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：每組壓敏電阻中的多個串聯在一起的壓敏電阻均勻分布在對應內腔的上方。

6.根據權利要求5所述的壓力傳感器，其特征在于：每組壓敏電阻設置有四個串聯在一起的壓敏電阻，該四個壓敏電阻圍成矩形或者圓形。

7.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：每個壓敏電阻包括重摻雜區和輕摻雜區；所述每個壓敏電阻的重摻雜區通過導電部引出。

8.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：所述內腔設置有N個，N為4的整數倍，且不等于4；其中，每N/4個內腔上方對應的壓敏電阻串聯在一起共同作為惠斯通電橋的一個臂，四個臂共同構成了信號輸出的惠斯通電橋。