[實用新型]一種改善碳化硅晶棒端面研磨的治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721457509.4
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN207372944U
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賴柏帆;蘇雙圖
• 申請（專利權(quán)）人: 福建北電新材料科技有限公司
• 主分類號: B24B37/30
• 分類號: B24B37/30;B24B37/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，包括上圓盤(1)、螺紋圓柱體(3)和下圓盤(4)，其特征在于：所述上圓盤(1)中部開設(shè)有柱體安裝孔(6)，且上圓盤(1)側(cè)面均勻開設(shè)有固定孔(7)，所述固定孔(7)內(nèi)部安裝有螺柱結(jié)構(gòu)(5)，且螺柱結(jié)構(gòu)(5)下方安裝在下圓盤(4)上開設(shè)的螺紋孔(12)內(nèi)部，所述固定孔(7)下方中部開設(shè)有定位孔(11)，所述上圓盤(1)中部開設(shè)的柱體安裝孔(6)與螺紋圓柱體(3)螺接在一起，且螺紋圓柱體(3)上方開設(shè)的凹槽(10)內(nèi)部安裝有碳化硅晶棒(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，其特征在于：所述上圓盤(1)內(nèi)部的固定孔(7)上安裝的螺柱結(jié)構(gòu)(5)有螺柱體(9)和固定螺母(8)共同組成，且螺柱體(9)穿過固定孔(7)中部通過固定螺母(8)緊箍在一起，同時螺柱體(9)底部螺接在下圓盤(4)上開設(shè)的螺紋孔(12)內(nèi)部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，其特征在于：所述上圓盤(1)和下圓盤(4)通過螺柱結(jié)構(gòu)(5)固定在一起的治具通過定位孔(11)放到定向儀上的定位銷上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，其特征在于：所述上圓盤(1)和下圓盤(4)大小結(jié)構(gòu)相同，且下圓盤(4)上開設(shè)的螺紋孔(12)與上圓盤(1)上開設(shè)的固定孔(7)位置相對應，同時上圓盤(1)上開設(shè)的固定孔(7)的直徑大于螺柱體(9)的直徑，并且下圓盤(4)上開設(shè)的螺紋孔(12)的直徑與螺柱體(9)的直徑相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，其特征在于：所述螺紋圓柱體(3)端面大于碳化硅晶棒(2)的端面，且碳化硅晶棒(2)端面中部開設(shè)的凹槽(10)內(nèi)部粘住碳化硅晶棒(2)的端面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，其特征在于：所述螺紋圓柱體(3)與上圓盤(1)中部開設(shè)的柱體安裝孔(6)可拆卸螺接在一起，且柱體安裝孔(6)安裝在上圓盤(1)內(nèi)部底部位于同一平面。