[實用新型]MAIA背鍍機臺進出料腔自動清理裝置

有效

• 申請號: 201721448265.3
• 申請日: 2017-11-02
• 公開（公告）號: CN207338413U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 左文楠;朱露;姚偉忠;張凱盛;孫鐵囤
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
• 代理人: 朱麗莎

本實用新型涉及太陽能電池生產設備技術領域，尤其涉及一種MAIA背鍍機臺進出料腔自動清理裝置，本實用新型的MAIA背鍍機臺進出料腔自動清理裝置，無需人工進行清理，高效方便。無需開起腔體就能對進出料腔進行吸塵，節省時間，不會引起揚塵導致生產環境的污染，減少對人體的危害。可定時清理進出料腔體內部環境，減少粉塵對硅片表面的污染，改善良率。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池生產設備技術領域，尤其涉及一種MAIA背鍍機臺進出料腔自動清理裝置。

背景技術

目前MAIA背鍍機臺進出料腔出料腔氮化硅粉塵較多，若不按時有效的清理腔體內部粉塵易導致硅片表面被腔體內粉塵污染，影響良率。進出料腔未有自動清理裝置，必需停止工藝后開腔進行吸塵，耗時較長影響產量，人工清理效率偏低。人工清理進出料腔時，容易揚塵，污染生產環境，對人體有害。目前MAIA背鍍機臺進出料腔需要開腔進行人工吸塵處理。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：為了解決現有技術中進出料腔必需停止工藝后開腔進行吸塵，耗時較長影響產量，人工清理效率偏低的技術問題，本實用新型提供一種MAIA背鍍機臺進出料腔自動清理裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種MAIA背鍍機臺進出料腔自動清理裝置，包括吸塵管道以及設置在料腔內的上吸盤和下吸盤，上吸盤的吸塵口朝向料腔內的上表面，下吸盤的吸塵口朝向料腔內的下表面，上吸盤和下吸盤的背面固定連接且均和吸塵管道的一端相連通，吸塵管道的另一端連接有吸塵裝置，料腔上設置有能夠穿過吸塵管道的安裝孔。本實用新型通過在料腔內設置了吸塵裝置能夠自動清理料腔內的灰塵，無需人工，方便高效。

為了能夠將整個料腔內都清理到位，所述吸塵管道為可伸縮管道。

進一步，具體地，所述吸塵管道為雙層管道，外層為套縮式管道，內層為布制管道，布制管道的長度和套縮式管道的最大伸長量的長度一致。

為了便于及時清理灰塵，所述吸塵裝置內設置有可更換的集塵盒。

本實用新型的有益效果是，本實用新型的MAIA背鍍機臺進出料腔自動清理裝置，無需人工進行清理，高效方便。無需開起腔體就能對進出料腔進行吸塵，節省時間，不會引起揚塵導致生產環境的污染，減少對人體的危害。可定時清理進出料腔體內部環境，減少粉塵對硅片表面的污染，改善良率。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型最優實施例的結構示意圖。

圖中：1、料腔，2、上吸盤，3、下吸盤，4、吸塵管道，5、吸塵裝置。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示，是本實用新型最優實施例，一種MAIA背鍍機臺進出料腔1自動清理裝置，包括吸塵管道4以及設置在料腔1內的上吸盤2和下吸盤3，上吸盤2的吸塵口朝向料腔1內的上表面，下吸盤3的吸塵口朝向料腔1內的下表面，上吸盤2和下吸盤3的背面固定連接且均和吸塵管道4的一端相連通，吸塵管道4的另一端連接有吸塵裝置5，料腔1上設置有能夠穿過吸塵管道4的安裝孔。吸塵管道4為可伸縮管道。吸塵管道4為雙層管道，外層為套縮式管道，內層為布制管道，布制管道的長度和套縮式管道的最大伸長量的長度一致。吸塵裝置5內設置有可更換的集塵盒。吸塵管道4的伸縮可以通過在料腔1側壁上設置一條沿長度方向的直線軌道，直線軌道上設置有滑塊，滑塊和上吸盤2或者下吸盤3通過連桿連接。