[實(shí)用新型]MAIA背鍍機(jī)臺進(jìn)出料腔自動清理裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721448265.3 | 申請日： | 2017-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN207338413U | 公開（公告）日： | 2018-05-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 左文楠;朱露;姚偉忠;張凱盛;孫鐵囤 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 朱麗莎 |
| 地址： | 213000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | maia 機(jī)臺 進(jìn)出 自動 清理 裝置 | ||
1.一種MAIA背鍍機(jī)臺進(jìn)出料腔(1)自動清理裝置，其特征在于：包括吸塵管道(4)以及設(shè)置在料腔(1)內(nèi)的上吸盤(2)和下吸盤(3)，上吸盤(2)的吸塵口朝向料腔(1)內(nèi)的上表面，下吸盤(3)的吸塵口朝向料腔(1)內(nèi)的下表面，上吸盤(2)和下吸盤(3)的背面固定連接且均和吸塵管道(4)的一端相連通，吸塵管道(4)的另一端連接有吸塵裝置(5)，料腔(1)上設(shè)置有能夠穿過吸塵管道(4)的安裝孔。
2.如權(quán)利要求1所述的MAIA背鍍機(jī)臺進(jìn)出料腔自動清理裝置，其特征在于：所述吸塵管道(4)為可伸縮管道。
3.如權(quán)利要求2所述的MAIA背鍍機(jī)臺進(jìn)出料腔自動清理裝置，其特征在于：所述吸塵管道(4)為雙層管道，外層為套縮式管道，內(nèi)層為布制管道，布制管道的長度和套縮式管道的最大伸長量的長度一致。
4.如權(quán)利要求1所述的MAIA背鍍機(jī)臺進(jìn)出料腔自動清理裝置，其特征在于：所述吸塵裝置(5)內(nèi)設(shè)置有可更換的集塵盒。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
