[實(shí)用新型]MAIA背鍍機(jī)臺(tái)進(jìn)出料腔自動(dòng)清理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721448265.3
• 申請(qǐng)日: 2017-11-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207338413U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左文楠;朱露;姚偉忠;張凱盛;孫鐵囤
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 常州市英諾創(chuàng)信專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 32258
• 代理人: 朱麗莎

1.一種MAIA背鍍機(jī)臺(tái)進(jìn)出料腔(1)自動(dòng)清理裝置，其特征在于：包括吸塵管道(4)以及設(shè)置在料腔(1)內(nèi)的上吸盤(pán)(2)和下吸盤(pán)(3)，上吸盤(pán)(2)的吸塵口朝向料腔(1)內(nèi)的上表面，下吸盤(pán)(3)的吸塵口朝向料腔(1)內(nèi)的下表面，上吸盤(pán)(2)和下吸盤(pán)(3)的背面固定連接且均和吸塵管道(4)的一端相連通，吸塵管道(4)的另一端連接有吸塵裝置(5)，料腔(1)上設(shè)置有能夠穿過(guò)吸塵管道(4)的安裝孔。

2.如權(quán)利要求1所述的MAIA背鍍機(jī)臺(tái)進(jìn)出料腔自動(dòng)清理裝置，其特征在于：所述吸塵管道(4)為可伸縮管道。

3.如權(quán)利要求2所述的MAIA背鍍機(jī)臺(tái)進(jìn)出料腔自動(dòng)清理裝置，其特征在于：所述吸塵管道(4)為雙層管道，外層為套縮式管道，內(nèi)層為布制管道，布制管道的長(zhǎng)度和套縮式管道的最大伸長(zhǎng)量的長(zhǎng)度一致。

4.如權(quán)利要求1所述的MAIA背鍍機(jī)臺(tái)進(jìn)出料腔自動(dòng)清理裝置，其特征在于：所述吸塵裝置(5)內(nèi)設(shè)置有可更換的集塵盒。