[實用新型]一種晶圓機臺溫控系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721442620.6 | 申請日： | 2017-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN207338326U | 公開（公告）日： | 2018-05-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊小雄 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海眾鴻電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 郭桂峰 |
| 地址： | 201315 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 機臺 溫控 系統(tǒng) | ||
1.一種晶圓機臺溫控系統(tǒng)，為晶圓機臺冷卻，其特征在于，包括：
循環(huán)泵，通過機臺進水管與機臺出水管與所述晶圓機臺連通，以維持所述晶圓機臺內(nèi)的溫度，所述循環(huán)泵的控制模塊與所述機臺的控制模塊通訊連接，
冷卻裝置，通過冷卻水進水管與冷卻水出水管與所述循環(huán)泵連通，為所述循環(huán)泵降溫，
第一氣動閥與第二氣動閥，分別排布在所述冷卻水進水管以及所述冷卻水出水管上，
進氣管，其中通有空氣，且所述進氣管通過電磁閥與所述第一氣動閥與所述第二氣動閥連通，所述電磁閥同所述循環(huán)泵的控制模塊通訊連接；其中，
當(dāng)所述循環(huán)泵的斷電信號或故障信號傳輸至所述機臺的控制模塊與所述電磁閥時，所述機臺停止運轉(zhuǎn)，并且所述電磁閥開啟使所述進氣管導(dǎo)通，空氣進入所述第一氣動閥與所述第二氣動閥使其關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓機臺溫控系統(tǒng)，其特征在于：所述進氣管并聯(lián)連接至所述第一氣動閥與所述第二氣動閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓機臺溫控系統(tǒng)，其特征在于：所述進氣管串聯(lián)連接至所述第一氣動閥與所述第二氣動閥。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
