[實用新型]光罩盒有效
| 申請號: | 201721419468.X | 申請日: | 2017-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN207799329U | 公開(公告)日: | 2018-08-31 |
| 發明(設計)人: | 邱銘隆;陳延方 | 申請(專利權)人: | 中勤實業股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F1/66 | 分類號: | G03F1/66 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 馬雯雯;臧建明 |
| 地址: | 中國臺灣桃*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 盒體 光罩盒 第二定位部 第一定位部 光罩 鎖扣機構 滑扣 扣勾 本實用新型 閉合狀態 傳送過程 方向相對 容置空間 便利性 可靠度 擋止 蓋合 開合 雜物 垂直 損傷 支撐 污染 配合 | ||
本實用新型提供一種光罩盒,包括第一盒體、第二盒體及鎖扣機構。第一盒體具有多個第一定位部。第二盒體可沿第一方向相對第一盒體開合,并與第一盒體共同形成容置空間。第二盒體具有多個第二定位部,這些第二定位部與這些第一定位部相配合以共同定位并支撐光罩。鎖扣機構包括設于第一盒體及第二盒體中的一者的滑扣單元,及設于第一盒體及第二盒體中的另一者的扣勾單元。當第二盒體與第一盒體相對蓋合時,滑扣單元與扣勾單元可相互扣合以將光罩盒固定于閉合狀態,且至少一第一定位部與至少一第二定位部沿垂直于第一方向的方向相互擋止。可提高作業時的便利性及可靠度,避免外界的雜物因蓋合不確實而進入光罩盒污染光罩及光罩在傳送過程中受到損傷。
技術領域
本實用新型涉及一種容器,尤其涉及一種光罩盒。
背景技術
一般光罩盒由兩個可相對開合的蓋體及本體/座體共同形成可容置光罩的空間,在蓋體及本體上需要設置鎖扣機構以將兩盒體相對鎖扣固定。
然而,由于制造上的誤差或是使用過程中產生的磨損等等因素,蓋體與本體之間的接合處有時會存在有間隙。當這些間隙過大時,蓋體與本體間就會發生松動,并可能會在蓋合的情況下發生非預期的相對位移,并因而使得其中所容置的光罩無法被穩固地保存。嚴重時甚至可能因為摩擦、震動、…等因素而使得光罩受損。
而鎖扣機構依據不同的使用需求也有多種不同的結構設計,例如中國臺灣省實用新型專利第M410327號所揭示的一種光罩盒,包括可相對樞轉蓋合的本體及蓋體,其鎖扣機構在蓋體上設置兩彼此相間隔的扣條,并在本體上設置分別與該兩扣條相對應的兩組滑條與扣塊,扣塊設于滑條上,并可在本體與蓋體相對蓋合時滑扣于扣條上(扣塊位于鎖扣位置),以將光罩盒的本體與蓋體鎖扣固定。欲開啟光罩盒時,需將扣塊滑離扣條,也就是移動至釋鎖位置,才可將蓋體掀開。然而,此種結構設計仍存在一些可靠性上的缺點,例如在蓋體由開啟狀態要蓋合于本體時,若是因為作業人員的疏忽等因素而致使扣塊位于鎖扣位置而非釋鎖位置,則扣塊會與扣條產生干涉,使得扣條被擋止而無法通過扣塊,造成蓋體完全無法蓋合或是蓋合不確實。輕則使得外界的雜物進入光罩盒污染光罩,重則造成光罩在傳送過程中受到損傷。因此要將蓋體蓋合前,必須確認扣塊是位于釋鎖位置才能將蓋體蓋合,然后再將扣塊移至鎖扣位置以確實完成光罩盒的鎖扣,才能避免造成其中所容置的光罩受到污染甚或是損傷。
實用新型內容
本實用新型提供一種光罩盒,方便使用且可靠性高。
本實用新型的光罩盒包括第一盒體、第二盒體及鎖扣機構。第一盒體具有多個第一定位部。第二盒體可沿第一方向相對第一盒體開合,并在蓋合于第一盒體時與第一盒體共同形成容置空間。其中第二盒體具有多個第二定位部,這些第二定位部與這些第一定位部相配合以共同定位并支撐光罩。鎖扣機構包括設于第一盒體及第二盒體中的一者的滑扣單元,及設于第一盒體及第二盒體中的另一者的扣勾單元。當光罩盒在第二盒體與第一盒體相對蓋合的閉合狀態下時,滑扣單元與扣勾單元可相互扣合以將光罩盒固定于閉合狀態,且至少一第一定位部與至少一第二定位部沿垂直于第一方向的方向相互擋止,以阻止第一盒體與第二盒體沿垂直于第一方向的方向相對移動。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其專門適用于此的容器;其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如通過電子束;其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜;其制備,例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜,例如用于校準或測試的特殊涂層或標記;其制備





