[實用新型]硅片自動清洗脫膠一體機

有效

• 申請號: 201721410512.0
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207655564U
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 陳五奎;劉強;耿榮軍;任超
• 申請（專利權）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/10
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232
• 代理人: 李玉興

本實用新型公開了一種能夠實現硅片清洗和脫膠一次完成的硅片自動清洗脫膠一體機。該硅片自動清洗脫膠一體機，包括水洗清洗裝置、脫膠裝置、硅片水平輸送裝置；所述水洗清洗裝置以及脫膠裝置并排設置；水洗清洗裝置以及脫膠裝置均包括高壓泵、至少兩個支撐座，所述支撐座并排均勻分布；支撐座下方具有硅片運輸區間；所述支撐座下方的硅片運輸區間內設置有硅片水平輸送裝置以及硅片輸送滑道；所述支撐座上設置有兩端密閉的高壓管道；所述高壓管道與高壓泵連通；所述高壓管道上設置有噴頭；所述脫膠裝置還包括脫膠液加熱裝置；所述脫膠液加熱裝置與脫膠裝置的高壓泵連通。采用該硅片自動清洗脫膠一體機能夠減少工序，提高工作效率，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉硅片的清洗，尤其是一種硅片自動清洗脫膠一體機。

背景技術

眾所周知的：硅片表面的潔凈度是影響硅片合格率和電池轉換效率的關鍵因素。為獲得潔凈度高的硅片，往往硅片在經過線切割后需經過脫膠清洗和精細清洗兩個部分，而作為第一道清洗工序的脫膠清洗雖然沒有切割工藝要求那么高，但也是獲得潔凈片的重要工序，其清洗過程涉及到物理、化學、超聲等多種學科。

現有技術中實現硅片的脫膠清洗往往采用兩個工序即首先通過清洗裝置對硅片的表面通過水洗，洗掉硅片表面的部分金屬粉末、硅粉、碳化硅等；然后再通過脫膠裝置實現對硅片的脫膠。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種能夠實現硅片清洗和脫膠一次完成的硅片自動清洗脫膠一體機。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：硅片自動清洗脫膠一體機，包括水洗清洗裝置、脫膠裝置、硅片水平輸送裝置；所述水洗清洗裝置以及脫膠裝置并排設置；

所述水洗清洗裝置以及脫膠裝置均包括高壓泵、至少兩個支撐座，所述支撐座并排均勻分布；所述支撐座下方具有硅片運輸區間；所述支撐座下方的硅片運輸區間內設置有硅片水平輸送裝置以及硅片輸送滑道；

所述支撐座上設置有兩端密閉的高壓管道；所述高壓管道沿硅片水平輸送裝置輸送硅片的方向延伸；且位于硅片水平輸送裝置的上方；

所述高壓管道上設置有入水口，所述入水口與高壓泵連通；所述高壓管道上設置有沿高壓管道長度方向均勻分布的噴頭；所述噴頭位于硅片水平輸送裝置的正上方；

所述脫膠裝置還包括脫膠液加熱裝置；所述脫膠液加熱裝置與脫膠裝置的高壓泵連通。

進一步的，所述硅片水平輸送裝置包括至少兩根皮帶；所述皮帶兩端均設置有傳動軸；所述傳動軸上設置有至少兩個皮帶輪，所述皮帶輪與皮帶一一對應；所述皮帶與皮帶輪傳動連接；所述傳動軸兩端設置有軸承座；兩根傳動軸中任意一根的軸承座上設置有驅動傳動軸轉動的驅動電機。

進一步的，所述支撐座下方的硅片運輸區間內設置有中間橫梁；所述中間橫梁位于皮帶下方，所述中間橫梁上設置有高壓管道，所述高壓管道上設置有沿高壓管道長度方向均勻分布的噴頭，且該噴頭位于皮帶的正下方。

進一步的，所述硅片水平輸送裝置下方設置有廢水收集盒。

進一步的，所述滑道上設置有沿滑道長度方向延伸的硅片導向槽。

本實用新型的有益效果是：本實用新型所述的硅片自動清洗脫膠一體機由于設置有水洗清洗裝置、脫膠裝置，并且在水洗清洗裝置、脫膠裝置下方設置有硅片水平輸送裝置；因此在硅谷進行水平輸送的過程中通過水洗清洗裝置、實現對硅片的清洗，通過脫膠裝置實現對硅片的脫膠，從而使得本實用新型所述的硅片自動清洗脫膠一體機能夠實現對硅片的清洗和脫膠一次性完成；減少了工序，提高了工作效率，降低了生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中硅片自動清洗脫膠一體機的立體圖；

圖2為本實用新型實施例中硅片自動清洗脫膠一體機的俯視圖；