[實用新型]硅片自動清洗脫膠一體機

有效

• 申請號: 201721410512.0
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207655564U
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 陳五奎;劉強;耿榮軍;任超
• 申請（專利權）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/10
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232
• 代理人: 李玉興

1.硅片自動清洗脫膠一體機，其特征在于：包括水洗清洗裝置(1)、脫膠裝置(2)、硅片水平輸送裝置；所述水洗清洗裝置(1)以及脫膠裝置(2)并排設置；

所述水洗清洗裝置以及脫膠裝置(2)均包括高壓泵(9)、至少兩個支撐座(3)，所述支撐座(3)并排均勻分布；所述支撐座(3)下方具有硅片運輸區間；所述支撐座(3)下方的硅片運輸區間內設置有硅片水平輸送裝置以及硅片輸送滑道(8)；

所述支撐座(3)上設置有兩端密閉的高壓管道(12)；所述高壓管道(12)沿硅片水平輸送裝置輸送硅片的方向延伸；且位于硅片水平輸送裝置的上方；

所述高壓管道(12)上設置有入水口，所述入水口與高壓泵(9)連通；所述高壓管道(12)上設置有沿高壓管道(12)長度方向均勻分布的噴頭(121)；所述噴頭(121)位于硅片水平輸送裝置的正上方；

所述脫膠裝置(2)還包括脫膠液加熱裝置(13)；所述脫膠液加熱裝置(13)與脫膠裝置(2)的高壓泵(9)連通。

2.如權利要求1所述的硅片自動清洗脫膠一體機，其特征在于：所述硅片水平輸送裝置包括至少兩根皮帶(6)；所述皮帶(6)兩端均設置有傳動軸(4)；所述傳動軸(4)上設置有至少兩個皮帶輪(5)，所述皮帶輪(5)與皮帶(6)一一對應；所述皮帶(6)與皮帶輪(5)傳動連接；所述傳動軸(4)兩端設置有軸承座(11)；兩根傳動軸(4)中任意一根的軸承座(11)上設置有驅動傳動軸(4)轉動的驅動電機(7)。

3.如權利要求2所述的硅片自動清洗脫膠一體機，其特征在于：所述支撐座(3)下方的硅片運輸區間內設置有中間橫梁(14)；所述中間橫梁(14)位于皮帶(6)下方，所述中間橫梁(14)上設置有高壓管道(12)，所述高壓管道(12)上設置有沿高壓管道長度方向均勻分布的噴頭(121)，且該噴頭(121)位于皮帶(6)的正下方。

4.如權利要求2所述的硅片自動清洗脫膠一體機，其特征在于：所述硅片水平輸送裝置下方設置有廢水收集盒。

5.如權利要求2所述的硅片自動清洗脫膠一體機，其特征在于：所述滑道(8)上設置有沿滑道(8)長度方向延伸的硅片導向槽。