[實用新型]一種半導體清洗裝置用夾持裝置

有效

• 申請號: 201721404423.5
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207735293U
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 張躍宏
• 申請（專利權）人: 鎮江佳鑫精工設備有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 任立

本實用新型公開一種半導體清洗裝置用夾持裝置，解決的技術問題：針對背景技術中提及的現有技術中不僅存在半導體零件清洗效率較低的問題，還存在零件報廢率較高的技術問題。采用的技術方案：一種半導體清洗裝置用夾持裝置，包括框架，兩個滑軌，兩根連桿，多個夾緊件和調節鎖緊機構。優點：本半導體清洗裝置用夾持裝置，采用可拆卸設計，可實現損壞或污染后可更換其配件，節省成本；框架采用鏤空設計，從而不影響零件清洗。

技術領域

本實用新型涉及一種半導體清洗裝置用夾持裝置。

背景技術

在半導體反應腔的預防性維護中，石英和硅刻蝕工藝中使用的組件需要進行超聲波清洗。目前半導體工廠中使用的晶圓尺寸多為300mm 直徑，故工藝組件零件大多為圓環形結構，如插入環、對光環、邊緣環等，其內徑為(300+x)mm，外徑為(300+x+y)mm，其中，x、y的值根據不同廠商機型設計略有差距。

為了防止組件零件損壞，這些組件零件不能堆疊放置。在清洗過程中，這些零件只能平放在超聲波清洗槽中，而清洗槽容積有限，一次最多只能清洗2到4件零件；即使一層僅放置兩件零件2，也可能發生互相刮蹭問題而導致零件報廢。

現有技術中不僅存在半導體零件清洗效率較低的問題，浪費了大量時間和空間，還存在零件報廢率較高的問題，導致半導體企業生產成本提高。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：針對背景技術中提及的現有技術中不僅存在半導體零件清洗效率較低的問題，還存在零件報廢率較高的技術問題。

本實用新型的設計思想是，提供一種新型半導體零件清洗承載裝置，以充分利用清洗槽空間，并不對零件產生破壞。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：

一種半導體清洗裝置用夾持裝置，包括由四個帶有通槽的板圍成的四邊形框架，在框架的兩個相對的寬度邊頂部均設置截面呈“H”型的滑軌，在兩個滑軌之間跨設兩根連桿，兩根連桿的兩端均通過滑槽滑動設置在滑軌上；

在兩根連桿上均間隔設置數量相等的多個夾緊件，并且兩根連桿上的夾緊件一一對應設置；

夾緊件包括水平設置在連桿上的夾緊基座，在夾緊基座的內端面上外凸設置懸臂，在懸臂上轉動設置夾緊滾輪，在夾緊滾輪的外周設置有容置清洗件邊緣的凹槽；

在兩根連桿之間設置至少一組用于鎖緊兩根連桿之間相對位置的調節鎖緊機構；

鎖緊機構包括兩個拉簧、一根帶有“T”型滑道的滑板、一個帶有“T”型滑槽的滑槽板和兩個安裝支腿，兩個安裝支腿分別安裝在兩根連桿的背面且兩個安裝支腿均一一對應垂直于兩根連桿安裝，兩個拉簧一端均一一對應連接兩個安裝支腿，兩個拉簧另一端均一一對應連接滑板和滑槽板；滑板與滑槽板配合卡裝并通過螺釘固定。

本實用新型的半導體清洗裝置用夾持裝置，框架采用鏤空設計，從而不影響零件清洗。兩根連桿采取滑槽與滑軌的設計結構，可以依據清洗件的尺寸進行調節，增加了本工裝的使用范圍。清洗件的夾緊采用滾輪設計，一方面，可以使得其與零件之間的摩擦從滑動摩擦變為滾動摩擦，減少刮擦；另一方面，采用滾輪設計可以滿足不同尺寸的環形零件的放置需求，圓環零件邊緣相切于兩側滾輪凹槽中固定，其中尺寸較大的環形零件中心點較高，尺寸較小的環形零件中心件較低，只要零件的最大外徑處小于兩側滾輪之間的距離，都能實現立式承載于一對滾輪之間。

對本實用新型技術方案的改進，連桿上的多個夾緊件之間的間隔均相等。

對本實用新型技術方案的改進，夾緊滾輪通過螺栓螺母副設置在懸臂上，同時當需要更換夾緊滾輪時，只需取下螺栓螺母副，針對不同的零部件，選取相應規格的夾緊滾輪，操作方便，使用范圍廣，降低成本。

對本實用新型技術方案的改進，在兩根連桿之間設置三組調節鎖緊機構，三組調節鎖緊機構分別位于兩根連桿的兩端以及中部位置處。