[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體清洗裝置用夾持裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721404423.5
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207735293U
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張躍宏
• 申請（專利權(quán)）人: 鎮(zhèn)江佳鑫精工設(shè)備有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 任立

1.一種半導(dǎo)體清洗裝置用夾持裝置，其特征在于，包括由四個(gè)帶有通槽的板圍成的四邊形框架（1），在框架（1）的兩個(gè)相對的寬度邊頂部均設(shè)置截面呈“H”型的滑軌（2），在兩個(gè)滑軌（2）之間跨設(shè)兩根連桿（3），兩根連桿（3）的兩端均通過滑槽（6）滑動設(shè)置在滑軌（2）上；

在兩根連桿（3）上均間隔設(shè)置數(shù)量相等的多個(gè)夾緊件（4），并且兩根連桿（3）上的夾緊件（4）一一對應(yīng)設(shè)置；

夾緊件（4）包括水平設(shè)置在連桿（3）上的夾緊基座（4-1），在夾緊基座（4-1）的內(nèi)端面上外凸設(shè)置懸臂（4-2），在懸臂（4-2）上轉(zhuǎn)動設(shè)置夾緊滾輪（4-3），在夾緊滾輪（4-3）的外周設(shè)置有容置清洗件邊緣的凹槽（4-4）；

在兩根連桿（3）之間設(shè)置至少一組用于鎖緊兩根連桿（3）之間相對位置的調(diào)節(jié)鎖緊機(jī)構(gòu)（5）；

鎖緊機(jī)構(gòu)（5）包括兩個(gè)拉簧（5-1）、一根帶有“T”型滑道的滑板（5-2）、一個(gè)帶有“T”型滑槽的滑槽板（5-3）和兩個(gè)安裝支腿（5-4），兩個(gè)安裝支腿（5-4）分別安裝在兩根連桿（3）的背面且兩個(gè)安裝支腿（5-4）均一一對應(yīng)垂直于兩根連桿（3）安裝，兩個(gè)拉簧（5-1）一端均一一對應(yīng)連接兩個(gè)安裝支腿（5-4），兩個(gè)拉簧（5-1）另一端均一一對應(yīng)連接滑板（5-2）和滑槽板（5-3）；滑板（5-2）與滑槽板（5-3）配合卡裝并通過螺釘固定。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體清洗裝置用夾持裝置，其特征在于，連桿（3）上的多個(gè)夾緊件（4）之間的間隔均相等。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體清洗裝置用夾持裝置，其特征在于，夾緊滾輪（4-3）通過螺栓螺母副設(shè)置在懸臂（4-2）上。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體清洗裝置用夾持裝置，其特征在于，在兩根連桿（3）之間設(shè)置三組調(diào)節(jié)鎖緊機(jī)構(gòu)（5），三組調(diào)節(jié)鎖緊機(jī)構(gòu)（5）分別位于兩根連桿（3）的兩端以及中部位置處。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體清洗裝置用夾持裝置，其特征在于，凹槽（4-4）的截面呈“U”型或“V”型。