[實用新型]一種玻璃基板減薄蝕刻槽

有效

• 申請號: 201721376670.9
• 申請日: 2017-10-24
• 公開（公告）號: CN207435315U
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 張杰;沈勵;鄭建軍;姚仕軍;夏偉;吳青肖
• 申請（專利權）人: 天津美泰真空技術有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 天津合志慧知識產權代理事務所(普通合伙) 12219
• 代理人: 陳松

本實用新型提供了一種玻璃基板減薄蝕刻槽，包括槽體、進液管、出液管、抽水管、支管、噴嘴、第一水泵、增壓泵、第二水泵和玻璃放置架；所述槽體內設有玻璃放置架，槽體的上部設有進液管，下部設有出液管，進液管通過連接管與出液管連接，連接管上設有第二水泵；槽體的頂端開口處設有抽水管，抽水管的一端封閉，另一端通過連通管與槽體的內部連通，連通管上還設有第一水泵和增壓泵，抽水管上設有若干個支管，支管伸入槽體內部，支管上設有若干個噴嘴。本實用新型所述的玻璃基板減薄蝕刻槽能夠實現玻璃基板蝕刻厚度更加均勻，蝕刻效果更好。

技術領域

本實用新型涉及玻璃基板減薄蝕刻技術領域，尤其是涉及一種玻璃基板減薄蝕刻槽。

背景技術

目前人們所應用的電子產品如手機、掌上電腦、筆記本電腦等都帶有液晶顯示屏，而液晶顯示屏是這些產品的重要元器件，若要整體的降低厚度，方法之一就是把液晶顯示屏幕的厚度進一步的減薄，最常用的就是對玻璃基板進行蝕刻減薄，在蝕刻過程，蝕刻液在蝕刻槽中的濃度會發生變化，不再均勻分布，導致蝕刻出的玻璃基板的厚度不均勻，而且反應生成物附著在玻璃基板上也會影響蝕刻的效果。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型旨在提出一種有利于玻璃基板蝕刻厚度更加均勻的玻璃基板減薄蝕刻槽。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種玻璃基板減薄蝕刻槽，包括槽體、進液管、出液管、抽水管、支管、噴嘴、第一水泵、增壓泵、第二水泵和玻璃放置架；

所述槽體內設有玻璃放置架，槽體的上部設有進液管，下部設有出液管，進液管通過連接管與出液管連接，連接管上設有第二水泵；槽體的頂端開口處設有抽水管，抽水管的一端封閉，另一端通過連通管與槽體的內部連通，連通管上還設有第一水泵和增壓泵，抽水管上設有若干個支管，支管伸入槽體內部，支管上設有若干個噴嘴。

進一步，所述玻璃放置架上設有玻璃卡位，玻璃卡位的個數比支管的數目少一個，且玻璃卡位與支管間隔設置。

進一步，所述槽體的側壁的內部設有空腔，空腔內設有加熱層。

進一步，所述槽體內設有溫度傳感器。

進一步，所述進液管和出液管之間的連接管上還連接有過濾裝置。

相對于現有技術，本實用新型所述的玻璃基板減薄蝕刻槽具有以下優勢：

(1)本實用新型所述的玻璃基板減薄蝕刻槽的槽體上設有進液管和出液管，進液管和出液管通過連接管連通，并通過第二水泵可以實現槽體內的液體的循環流動，有利于蝕刻液的濃度分布均勻；抽水管抽取槽體內的水，并通過增壓泵產生高壓水流，再經由支管將蝕刻液再噴如槽體內，高壓水流可以對槽體內的液體進行攪動，有利于提高蝕刻液的均勻性，使蝕刻的玻璃基板的厚度更加均勻，同時高壓水流有利于將玻璃基板上附著的生成物沖刷掉，保證了蝕刻的效果。

(2)本實用新型所述的玻璃基板減薄蝕刻槽的槽體的側壁內設有加熱層，能夠對蝕刻液進行加熱，加速反應進行，槽體內設有溫度傳感器，能夠隨時監測槽體內液體的溫度。

附圖說明

構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為本實用新型實施例所述的玻璃基板減薄蝕刻槽的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例所述的玻璃基板減薄蝕刻槽的剖面圖；

圖3為本實用新型實施例所述的抽水管的結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例所述的玻璃放置架的結構示意圖。

附圖標記說明：