[實用新型]一種玻璃基板減薄蝕刻槽

有效

• 申請號: 201721376670.9
• 申請日: 2017-10-24
• 公開（公告）號: CN207435315U
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 張杰;沈勵;鄭建軍;姚仕軍;夏偉;吳青肖
• 申請（專利權）人: 天津美泰真空技術有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 天津合志慧知識產權代理事務所(普通合伙) 12219
• 代理人: 陳松

1.一種玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于：包括槽體(1)、進液管(2)、出液管(3)、抽水管(4)、支管(5)、噴嘴(6)、第一水泵(9)、增壓泵(10)、第二水泵和玻璃放置架；

所述槽體(1)內設有玻璃放置架，槽體(1)的上部設有進液管(2)，下部設有出液管(3)，進液管(2)通過連接管與出液管(3)連接，連接管上設有第二水泵；槽體(1)的頂端開口處設有抽水管(4)，抽水管(4)的一端封閉，另一端通過連通管與槽體(1)的內部連通，連通管上還設有第一水泵(9)和增壓泵(10)，抽水管(4)上設有若干個支管(5)，支管(5)伸入槽體(1)內部，支管(5)上設有若干個噴嘴(6)。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于：所述玻璃放置架上設有玻璃卡位，玻璃卡位的個數比支管的數目少一個，且玻璃卡位與支管(5)間隔設置。

3.根據權利要求1所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于：所述槽體(1)的側壁的內部設有空腔，空腔內設有加熱層(7)。

4.根據權利要求3所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于：所述槽體(1)內設有溫度傳感器(8)。

5.根據權利要求1所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于：所述進液管(2)和出液管(3)之間的連接管上還連接有過濾裝置。