[實用新型]一種用于晶體生長的抽真空裝置

有效

• 申請號: 201721369100.7
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN207468773U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 唐華純;李中波
• 申請（專利權）人: 上海御光新材料科技股份有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B29/36
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于晶體生長的抽真空裝置，其特征在于，包括第一干泵(1)、第二干泵(2)、與爐體依次連接的第一氣動插板閥(3)、第二氣動插板閥(4)、與第一氣動插板閥相連接的第一分子泵(5)、與第二氣動插板閥相連接的第二分子泵(6)、與第一分子泵相連接的第一氣動閥(7)、與第二分子泵相連接的第二氣動閥(8)、與爐體相連接真空規(9)、與真空規相連接的第三氣動閥(10)、與所述第一氣動閥、第二氣動閥分別連接的連接的壓力計(11)、變頻器(12)、第四氣動閥(13)，所述第四氣動閥與壓力計連接，所述變頻器分別與第二干泵、第四氣動閥相連接，所述第一氣動閥、第二氣動閥、第三氣動閥分別與第一干泵相連接。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述抽真空裝置還包括第五氣動閥(14)，所述第五氣動閥用于當爐體壓力過大時瀉壓。