[實用新型]一種帶有移動裝置的晶體生長設備

有效

• 申請號: 201721366542.6
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN207468766U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 唐華純;李中波
• 申請（專利權）人: 上海御光新材料科技股份有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及到一種帶有移動裝置的晶體生長設備，通過在生長裝置中設置傳動電機，利用程序控制于升降裝置上的支撐桿的升降，進而控制坩堝在高溫區與低溫區之間往復運動，同時帶動密封蓋上下往復運動進而對爐體進行密封和解封，在真空環境下對坩堝進行加熱，并控制爐體內溫度，以使得坩堝內晶體熔液均勻分布，經過旋轉晶體生長成形快速，通過升降臂讓坩堝按照規定速度下降，在晶體生長點進行結晶，進而實現在助熔劑輔助下生長高質量的晶體，本實用新型晶體生長裝置，其結構簡單，用于一系列易氧化、非一致熔融或分解溫度低于熔點的化合物的晶體生長，具有廣泛的應用價值。

【技術領域】

本發明涉及單晶生長技術領域，尤其是涉及帶有移動裝置的晶體生長設備。

【背景技術】

非線性光學(NLO)晶體在眾多領域有著極為重要的應用，近年來國內外發現了許多性質良好的具有新穎結構的NLO化合物粉末，如Ba 3 P 3 O 10 Cl等，由于沒有厘米級單晶，尚未評估它們是否有實際應用價值。原因在于大量新穎的NLO化合物易氧化、非一致熔融或分解溫度低于熔點，且多晶料難以大量合成，獲得厘米級單晶非常困難。因此，探索開發一種適用于此類化合物晶體生長的方法具有重要的意義，眾所周知，此類化合物由于其強的揮發性和易氧化而無法在開放空間中合成與晶體生長，而是需要在密閉無水無氧環境中進行。目前對于非一致熔融或分解溫度低于熔點的化合物的單晶生長非常困難，該類晶體的生長研究也尚未在文獻中報道，適用于需要密閉環境的化合物晶體的生長方法是布里奇曼晶體生長法。對于易氧化、非一致熔融或分解溫度低于熔點的化合物的晶體生長不僅需要密閉環境，且需要助熔劑輔助。在晶體生長過程中，助熔劑的存在可以降低晶體的結晶溫度，但是也會造成晶體的缺陷。因此優化晶體生長設備，使得在晶體生長過程中助熔劑能快速有效的排出晶體，成為目前迫切需要解決的主要問題。

【實用新型內容】

鑒于以上所述，本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種帶有移動裝置的晶體生長設備，其結構簡單，而且還適用于一系列易氧化、非一致熔融或分解溫度低于熔點的化合物的晶體生長，具有廣泛的應用價值。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種帶有移動裝置的晶體生長設備，包括：

爐體、設置在爐體底部的密封蓋、位置于爐體內的坩堝、與坩堝連接的支撐桿、抽真空裝置、流體冷卻裝置、升降裝置，所述爐體包括位于上部的高溫區、中部的中溫區以及下部的低溫區，所述密封蓋套接在所述支撐桿上，所述坩堝固定設置支撐桿頂部，所述抽真空裝置與爐體連接，所述流體冷卻裝置與所述爐體連接，所述升降裝置設置在所述爐體下方的，以控制位于所述升降裝置上的支撐桿的升降，進而控制坩堝在所述高溫區與所述低溫區之間往復運動，同時帶動密封蓋上下往復運動進而對爐體進行密封和解封。

進一步提供一種實現方式，所述升降裝置包括支座、在支座上設置有傳動電機、直線運動總成、設置在所述直線運動總成上的減速機，所述的電動機通過皮帶與直線運動總成上的減速機傳動連接，所述直線運動總成上設置有沿豎直方向移動的滑座，所述支撐桿豎直方向固定在所述滑座上。

進一步提供一種實現方式，所述滑座上設置有激振器。

進一步提供一種實現方式，所述裝置還包括：所述爐體外周側的加熱裝置，所述加裝裝置包括位于高溫區內的高溫發熱絲及位于中溫區的中溫發熱絲。

進一步提供一種實現方式，所述加熱裝置在所述高溫區和所述中溫區均設置有控溫裝置，所述控溫裝置為控溫熱電偶。

進一步提供一種實現方式，所述抽真空裝置包括：與爐體連接的分子泵以及與分子泵連接的干泵，所述干泵、分子泵之間設置有壓力計，所述壓力計用于顯示爐體內真空度。

進一步提供一種實現方式，所述流體冷卻裝置包括：充氣泵、充氣閥、噴嘴，所述充氣泵與充氣閥連接，所述噴嘴設置在所述爐體內并位于爐體低溫區，所述充氣閥與噴嘴連接。