[實用新型]一種帶有移動裝置的晶體生長設備

有效

• 申請號: 201721366542.6
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN207468766U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 唐華純;李中波
• 申請（專利權）人: 上海御光新材料科技股份有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種帶有移動裝置的晶體生長設備，其特征在于，包括爐體、設置在爐體底部的密封蓋、位置于爐體內的坩堝、與坩堝連接的支撐桿、抽真空裝置、流體冷卻裝置、升降裝置，所述爐體包括位于上部的高溫區、中部的中溫區以及下部的低溫區，所述密封蓋套接在所述支撐桿上，所述坩堝固定設置支撐桿頂部，所述抽真空裝置與爐體連接，所述流體冷卻裝置與所述爐體連接，所述升降裝置設置在所述爐體下方的，以控制位于所述升降裝置上的支撐桿的升降，進而控制坩堝在所述高溫區與所述低溫區之間往復運動，同時帶動密封蓋上下往復運動進而對爐體進行密封和解封。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述升降裝置包括支座、在支座上設置有傳動電機、直線運動總成、設置在所述直線運動總成上的減速機，所述的傳動電機通過皮帶與直線運動總成上的減速機傳動連接，所述直線運動總成上設置有沿豎直方向移動的滑座，所述支撐桿豎直方向固定在所述滑座上。

3.根據權利要求2所述的設備，其特征在于，所述滑座上設置有激振器。

4.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述裝置還包括：所述爐體外周側的加熱裝置，所述加熱裝置包括位于高溫區內的高溫發熱絲及位于中溫區的中溫發熱絲。

5.根據權利要求1至4之一所述的設備，其特征在于，所述加熱裝置在所述高溫區和所述中溫區均設置有控溫裝置，所述控溫裝置為控溫熱電偶。

6.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述抽真空裝置包括：與爐體連接的分子泵以及與分子泵連接的干泵，所述干泵、分子泵之間設置有壓力計，所述壓力計用于顯示爐體內真空度。

7.根據權利要求5所述的設備，其特征在于，所述流體冷卻裝置包括：充氣泵、充氣閥、噴嘴，所述充氣泵與充氣閥連接，所述噴嘴設置在所述爐體內并位于爐體低溫區，所述充氣閥與噴嘴連接。