[實用新型]一種玻璃基板承載平臺

有效

• 申請號: 201721362699.1
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN207488292U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 熊海軍;沈洪星;張作軍;劉晏
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: G01N33/38
• 分類號: G01N33/38
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

本實用新型涉及玻璃基板檢測設備領域，公開了一種玻璃基板承載平臺，該玻璃基板承載平臺包括平臺，平臺用于承載玻璃基板，平臺朝向玻璃基板的表面設有多個通氣孔；平臺內設有氣道，氣道與多個通氣孔連通；氣道用于向平臺與玻璃基板之間輸送空氣，使玻璃基板在平臺表面浮起，或用于將平臺與玻璃基板之間的空氣排出，使玻璃基板吸附在平臺上。上述實施例中，當向氣道內通入空氣時，氣流由通氣孔中吹出，給玻璃基板一個向上的浮力，并在平臺與玻璃基板之間形成緩沖作用；當將氣道中的空氣抽出時，由于玻璃基板上下表面存在壓力差，從而使玻璃基板被牢牢地吸附在平臺上。

技術領域

本實用新型涉及玻璃基板檢測設備領域，尤其涉及一種玻璃基板承臺平臺。

背景技術

玻璃基板在檢測時，需要放置到玻璃基板承載平臺上以供檢測設備檢測，檢測過程中，通過旋轉承載平臺使玻璃基板到達指定的位置，從而沿橫向及縱向兩個方向對玻璃基板進行檢測，在旋轉過程中，一旦玻璃基板與承載平臺發生相對位移，則容易造成玻璃基板表面的劃傷，影響玻璃基板的使用；另外，玻璃基板在檢測過程中，還需要通過頂升裝置將玻璃基板舉升到位，由于玻璃基板與承臺平臺之間的硬性接觸，在上升過程中，玻璃基板由于震動等原因容易發生碎裂。

實用新型內容

本實用新型提供一種玻璃基板承載平臺，用以提高玻璃基板的穩定性。

本實用新型實施例提供了一種玻璃基板承載平臺，該玻璃基板承載平臺包括平臺，所述平臺用于承載玻璃基板，所述平臺朝向所述玻璃基板的一面設有多個通氣孔；所述平臺內設有氣道，且所述氣道與所述多個通氣孔連通；

所述氣道用于向所述平臺與所述玻璃基板之間輸送空氣，使所述玻璃基板在所述平臺表面浮起，或所述氣道用于將所述平臺與所述玻璃基板之間的空氣排出，使所述玻璃基板被吸附在所述平臺上。

上述實施例中，通氣孔分布在平臺朝向玻璃基板的表面，當向氣道內通入空氣時，氣流被分配到各個通氣孔中，給玻璃基板一個向上的浮力，使玻璃基板與平臺之間形成微小的間隙，這樣在頂升過程中，避免了兩者之間的硬沖擊，防止玻璃基板破碎；當將氣道中的空氣抽出時，由于玻璃基板上下表面存在壓力差，從而將玻璃基板被牢牢地吸附在平臺上，在平臺旋轉過程中，玻璃基板與平臺之間不會發生相對位移，從而避免了玻璃基板表面的劃傷。

在一個具體的實施例中，所述氣道包括至少一個一級主氣道，每個一級主氣道與多個副氣道連通，每個副氣道與多個所述通氣孔連通。

優選的，所述氣道還包括至少一個二級主氣道，每個二級主氣道分別與一個一級主氣道以及多個副氣道連通，所述二級主氣道用于將所述一級主氣道中的氣流分配到所述多個副氣道，或用于將所述多個副氣道中的氣流匯集到所述一級主氣道中。

優選的，所述平臺背離所述玻璃基板的一面設有與所述每個一級主氣道連通的進氣孔。

具體設置時，所述氣道包括四個一級主氣道以及兩個二級主氣道，所述四個一級主氣道呈十字形排列，且將所述平臺分為四個區域。

優選的，所述兩個二級主氣道分別位于呈對角設置的兩個區域內，且所述平臺上的副氣道平行設置。

優選的，當所述平臺背離所述玻璃基板的一面設有一個進氣孔時，所述進氣孔位于所述平臺的中心位置；

當所述平臺背離所述玻璃基板的一面設有兩個或多個進氣孔時，所述兩個或多個進氣孔沿圓周分布，所述圓周位于所述平臺的中心位置。

優選的，所述平臺為鋁合金材料制成而成的平臺結構，且所述平臺表面經過陽極氧化處理。

優選的，所述平臺上設有與頂升機構配合的頂升避位孔、與夾持定位機構配合的夾持定位避位孔以及與檢測探頭配合的檢測探頭避位孔。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例提供的玻璃基板承載平臺的俯視圖；