[實用新型]一種玻璃基板承載平臺

有效

• 申請號: 201721362699.1
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN207488292U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 熊海軍;沈洪星;張作軍;劉晏
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: G01N33/38
• 分類號: G01N33/38
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種玻璃基板承載平臺，其特征在于，包括平臺，所述平臺用于承載玻璃基板，所述平臺朝向所述玻璃基板的一面設有多個通氣孔；所述平臺內設有氣道，且所述氣道與所述多個通氣孔連通；

所述氣道用于向所述平臺與所述玻璃基板之間輸送空氣，使所述玻璃基板在所述平臺表面浮起，或所述氣道用于將所述平臺與所述玻璃基板之間的空氣排出，使所述玻璃基板吸附在所述平臺上。

2.如權利要求1所述的玻璃基板承載平臺，其特征在于，所述氣道包括至少一個一級主氣道，每個一級主氣道與多個副氣道連通，每個副氣道與多個所述通氣孔連通。

3.如權利要求2所述的玻璃基板承載平臺，其特征在于，所述氣道還包括至少一個二級主氣道，每個二級主氣道分別與一個一級主氣道以及多個副氣道連通，所述二級主氣道用于將所述一級主氣道中的氣流分配到所述多個副氣道中，或用于將所述多個副氣道中的氣流匯集到所述一級主氣道中。

4.如權利要求2所述的玻璃基板承載平臺，其特征在于，所述平臺背離所述玻璃基板的一面設有與所述每個一級主氣道連通的進氣孔。

5.如權利要求3所述的玻璃基板承載平臺，其特征在于，所述氣道包括四個一級主氣道以及兩個二級主氣道，所述四個一級主氣道呈十字形設置，且將所述平臺分為四個區域。

6.如權利要求5所述的玻璃基板承載平臺，其特征在于，所述兩個二級主氣道分別位于呈對角設置的兩個區域內，且所述平臺上的副氣道平行設置。

7.如權利要求4所述的玻璃基板承載平臺，其特征在于，當所述平臺背離所述玻璃基板的一面設有一個進氣孔時，所述進氣孔位于所述平臺的中心位置；

當所述平臺背離所述玻璃基板的一面設有兩個或多個進氣孔時，所述兩個或多個進氣孔沿圓周分布，所述圓周位于所述平臺的中心位置。

8.如權利要求1所述的玻璃基板承載平臺，其特征在于，所述平臺為鋁合金材料制作而成的平臺結構，且所述平臺表面經過陽極氧化處理。

9.如權利要求1～8任一項所述的玻璃基板承載平臺，其特征在于，所述平臺上還設有與頂升機構配合的頂升避位孔、與夾持定位機構配合的夾持定位避位孔以及與檢測探頭配合的檢測探頭避位孔。