[實用新型]一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置

有效

• 申請號: 201721362483.5
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN207276777U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 王耀亮
• 申請（專利權）人: 上海躍紳能源科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種氬氣回收技術領域，具體是一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置。

背景技術

直拉法(Czochralskimethod)是生產單晶硅的主要方法，全球70％～80％的單晶硅通過直拉法生產。最常用的直拉法生產單晶硅工藝是采用即像真空工藝又像流動氣氛工藝的減壓拉晶工藝；減壓工藝是在硅單晶拉制過程中，連續等速地向單晶爐爐膛內通入高純度氬氣，同時真空泵不斷地從爐膛向外抽送氬氣，保持爐膛內真空度穩定在20托左右，這種工藝既有真空工藝的特點，又有流動氣氛工藝的特點。減壓拉晶工藝的真空泵一般采用滑閥泵或者干式泵。氬氣攜帶單晶拉制過程中由于高溫而產生的硅氧化物和雜質揮發物，并通過真空泵的抽送排放到下游的氬氣回收裝置中。

在單晶爐正常運轉時，真空泵排出的尾氣氬氣純度極高。但是，目前在單晶爐的投料和卸料階段，大量空氣會被真空泵吸入并排至回收管道，降低了尾氣氬氣純度，導致下游氬氣回收裝置的回收效率下降，能耗上升。這是一種資源浪費現象，不符合當今社會可持續發展的生產理念。因此，本實用新型致力于開發一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置，包括單晶爐、除塵過濾器、真空泵、壓力變送器、放空管路和回收管路；所述單晶爐一端連接至除塵過濾器，除塵過濾器的另一端連接至真空泵，真空泵的另一端通過管路a分別連接至放空管路和回收管路，且管路a上安裝有壓力變送器；所述放空管路上安裝有放空管路手動閥和放空管路自動閥，回收管路上安裝有兩個回收管路手動閥和一個回收管路自動閥；所述單晶爐的另一端通過管路b分別連接至放空管路自動閥和回收管路自動閥，所述管路b上安裝有狀態指示器。

作為本實用新型進一步的方案：所述放空管路手動閥位于放空管路自動閥的左側。

作為本實用新型進一步的方案：所述回收管路自動閥位于兩個回收管路手動閥之間。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型設計合理，結構緊湊，不需要對單晶爐或真空泵做任何改造，用簡單和低成本的方法就可在新建廠施工，或者在老廠進行改造，極大地提高尾氣氬氣的純度，提高后續氬氣回收裝置的回收效率，并降低能耗。

附圖說明

圖1為提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置的結構示意圖。

其中：1-單晶爐；2-除塵過濾器；3-真空泵；4-壓力變送器；5-放空管路手動閥；6-放空管路自動閥；7-回收管路手動閥；8-回收管路自動閥；9-狀態指示器；10-放空管路；11-回收管路。

具體實施方式

下面結合具體實施方式對本專利的技術方案作進一步詳細地說明。

請參閱圖1，一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置，包括單晶爐1、除塵過濾器2、真空泵3、壓力變送器4、放空管路10和回收管路11；所述單晶爐1一端連接至除塵過濾器2，除塵過濾器2的另一端連接至真空泵3，真空泵3的另一端通過管路a分別連接至放空管路10和回收管路11，且管路a上安裝有壓力變送器4；所述放空管路10上安裝有放空管路手動閥5和放空管路自動閥6，放空管路手動閥5位于放空管路自動閥6的左側，回收管路11上安裝有兩個回收管路手動閥7和一個回收管路自動閥8，回收管路自動閥8位于兩個回收管路手動閥7之間；所述單晶爐1的另一端通過管路b分別連接至放空管路自動閥6和回收管路自動閥8，所述管路b上安裝有狀態指示器9，狀態指示器9為爐蓋開關處于打開時的狀態指示器。

一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的方法，包括：

(1)當單晶爐1正常運行時，狀態指示器9處于關閉狀態，發出的信號使放空管路自動閥6關閉，并使回收管路自動閥8打開，使從單晶爐1中使用的尾氣氬氣，經過除塵過濾器2，被吸入真空泵3后，進入回收管路11；

(2)當單晶爐1處于投料或卸料階段時，狀態指示器9處于打開狀態，發出的信號使放空管路自動閥6打開，并使回收管路自動閥8關閉，使從單晶爐1中使用的尾氣氬氣，經過除塵過濾器2，被吸入真空泵3后，進入放空管路；

(3)放空管路10中的放空管路手動閥5正常時處于開啟狀態，如果放空管路自動閥6需要檢修時，可關閉放空管路手動閥5；