[實用新型]一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置

有效

• 申請號: 201721362483.5
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN207276777U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 王耀亮
• 申請（專利權）人: 上海躍紳能源科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置，其特征在于，包括單晶爐(1)、除塵過濾器(2)、真空泵(3)、壓力變送器(4)、放空管路(10)和回收管路(11)；所述單晶爐(1)一端連接至除塵過濾器(2)，除塵過濾器(2)的另一端連接至真空泵(3)，真空泵(3)的另一端通過管路a分別連接至放空管路(10)和回收管路(11)，且管路a上安裝有壓力變送器(4)；所述放空管路(10)上安裝有放空管路手動閥(5)和放空管路自動閥(6)，回收管路(11)上安裝有兩個回收管路手動閥(7)和一個回收管路自動閥(8)；所述單晶爐(1)的另一端通過管路b分別連接至放空管路自動閥(6)和回收管路自動閥(8)，所述管路b上安裝有狀態指示器(9)。

2.根據權利要求1所述的提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置，其特征在于，所述放空管路手動閥(5)位于放空管路自動閥(6)的左側。

3.根據權利要求1所述的提高單晶爐尾氣氬氣回收效率的裝置，其特征在于，所述回收管路自動閥(8)位于兩個回收管路手動閥(7)之間。