[實用新型]一種磁控濺射鍍膜機的旋轉(zhuǎn)靶

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721361487.1
• 申請日: 2017-10-18
• 公開（公告）號: CN207294879U
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋宇;江維;熊建;全強
• 申請（專利權(quán)）人: 咸寧南玻節(jié)能玻璃有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于玻璃鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種磁控濺射鍍膜機的旋轉(zhuǎn)靶。

背景技術(shù)

真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜，近十年來發(fā)展相當(dāng)快，已經(jīng)成為當(dāng)今最先進的表面處理方式之一。真空鍍膜生產(chǎn)是實現(xiàn)膜層附著在工件表面，以獲得需要的工件表面特性。真空濺射鍍膜是利用靶材發(fā)生濺射，使濺射物附著在工件表面形成膜層，即達到鍍膜，磁控濺射鍍膜機是常見的真空濺射鍍膜設(shè)備，然而，由于其上設(shè)置的磁控濺射靶中，靶材和靶芯相對不動，而靶芯上的磁塊分布難于相對均勻，且難以保證不同磁塊的磁性一致，使得生產(chǎn)中磁場強度有差異，濺射不均勻，影響鍍膜質(zhì)量，因而優(yōu)待改進。由于磁控濺射過程中會產(chǎn)生高溫，而現(xiàn)有技術(shù)沒能有效給予降溫，導(dǎo)致磁控效果降低，不利于生產(chǎn)。

現(xiàn)有技術(shù)中的旋轉(zhuǎn)靶冷卻效果較差，且用于冷卻的冷卻管使用壽命較短，強度較低，由于其更換不便，導(dǎo)致其使用成本較高，更換周期短。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是針對現(xiàn)有的技術(shù)存在的上述問題，提供一種磁控濺射鍍膜機的旋轉(zhuǎn)靶，本實用新型所要解決的技術(shù)問題是如何延長冷卻管的使用壽命，且優(yōu)化冷卻效果。

本實用新型的目的可通過下列技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種磁控濺射鍍膜機的旋轉(zhuǎn)靶，其特征在于，本旋轉(zhuǎn)靶包括靶芯、冷卻管、驅(qū)動裝置、磁塊和靶材，所述冷卻管位于所述靶芯內(nèi)，所述靶芯的一端通過若干個支撐套與靶材固定相連，所述靶芯的另一端與靶材之間具有一容納腔，所述磁塊位于所述容納腔內(nèi)，且磁塊包裹在靶芯上，所述冷卻管具有進水端和出水端，所述冷卻管的內(nèi)壁上具有螺旋狀的導(dǎo)槽。

冷卻管內(nèi)壁上設(shè)置的螺旋狀的導(dǎo)槽，能夠使冷卻水形成渦流經(jīng)過，從而增強冷卻效果，而且，由于冷卻管內(nèi)壁設(shè)置的導(dǎo)槽，冷卻管的強度得到加強，使用壽命延長，大大降低了使用成本。

在上述的一種磁控濺射鍍膜機的旋轉(zhuǎn)靶中，所述驅(qū)動裝置包括固定設(shè)置在靶材上的錐齒輪一、錐齒輪二和驅(qū)動齒輪，所述錐齒輪一和錐齒輪二對稱設(shè)置，且齒牙相向設(shè)置，所述驅(qū)動齒輪上具有能夠分別與錐齒輪一和錐齒輪二嚙合的兩個傾斜設(shè)置的齒圈。

為了防止冷卻管內(nèi)壁設(shè)置的導(dǎo)槽對旋轉(zhuǎn)靶旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)性的影響，驅(qū)動裝置采用錐齒輪一和錐齒輪二正對設(shè)置的方式，然后通過驅(qū)動齒輪與之配合，達到提高旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)性，增強嚙合傳動的強度等效果。

在上述的一種磁控濺射鍍膜機的旋轉(zhuǎn)靶中，所述磁控固定在一軸套上，所述軸套與靶芯固定相連，所述軸套的兩端分別具有一個屏蔽擋圈。

屏蔽擋圈能夠在一定程度上防止磁塊的干擾。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點：

1、冷卻管內(nèi)壁上設(shè)置的螺旋狀的導(dǎo)槽，能夠使冷卻水形成渦流經(jīng)過，從而增強冷卻效果，而且，由于冷卻管內(nèi)壁設(shè)置的導(dǎo)槽，冷卻管的強度得到加強，使用壽命延長，大大降低了使用成本。

2、為了防止冷卻管內(nèi)壁設(shè)置的導(dǎo)槽對旋轉(zhuǎn)靶旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)性的影響，驅(qū)動裝置采用錐齒輪一和錐齒輪二正對設(shè)置的方式，然后通過驅(qū)動齒輪與之配合，達到提高旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)性，增強嚙合傳動的強度等效果。

附圖說明

圖1是本旋轉(zhuǎn)靶的截面圖。

圖中，1、靶芯；2、冷卻管；21、進水端；22、出水端；23、導(dǎo)槽；3、驅(qū)動裝置；31、錐齒輪一；32、錐齒輪二；33、驅(qū)動齒輪；4、磁塊；5、靶材；61、支撐套；62、容納腔；71、軸套；72、屏蔽擋圈。

具體實施方式

以下是本實用新型的具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進一步的描述，但本實用新型并不限于這些實施例。

如圖1所示，本旋轉(zhuǎn)靶包括靶芯1、冷卻管2、驅(qū)動裝置3、磁塊4和靶材5，冷卻管2位于靶芯1內(nèi)，靶芯1的一端通過若干個支撐套61與靶材5固定相連，靶芯1的另一端與靶材5之間具有一容納腔62，磁塊4位于容納腔62內(nèi)，且磁塊4包裹在靶芯1上，冷卻管2具有進水端21和出水端22，冷卻管2的內(nèi)壁上具有螺旋狀的導(dǎo)槽23；冷卻管2內(nèi)壁上設(shè)置的螺旋狀的導(dǎo)槽23，能夠使冷卻水形成渦流經(jīng)過，從而增強冷卻效果，而且，由于冷卻管2內(nèi)壁設(shè)置的導(dǎo)槽23，冷卻管2的強度得到加強，使用壽命延長，大大降低了使用成本。

驅(qū)動裝置3包括固定設(shè)置在靶材5上的錐齒輪一31、錐齒輪二32和驅(qū)動齒輪33，錐齒輪一31和錐齒輪二32對稱設(shè)置，且齒牙相向設(shè)置，驅(qū)動齒輪33上具有能夠分別與錐齒輪一31和錐齒輪二32嚙合的兩個傾斜設(shè)置的齒圈；為了防止冷卻管2內(nèi)壁設(shè)置的導(dǎo)槽23對旋轉(zhuǎn)靶旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)性的影響，驅(qū)動裝置3采用錐齒輪一31和錐齒輪二32正對設(shè)置的方式，然后通過驅(qū)動齒輪33與之配合，達到提高旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)性，增強嚙合傳動的強度等效果。