[實用新型]一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤

有效

• 申請號: 201721356096.0
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN207404846U
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 曾冬冬
• 申請（專利權）人: 上海健康醫學院
• 主分類號: C01B32/184
• 分類號: C01B32/184
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 王永偉;陸惠中

本實用新型涉及刻蝕技術領域，且公開了一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，包括底座，所述底座的上表面兩端均固定安裝有底柱，所述底柱的頂部固定安裝有第一橫板，所述底座的上表面中段插接有位于第一橫板下方的電機，所述第一橫板的上表面中段固定安裝有軸承，所述電機的輸出軸固定安裝有貫穿并延伸至軸承上方的旋轉桿。該用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，通過底座的上表面安裝的電機以及安裝的液壓伸縮桿可以使刻蝕的時候底座可以旋轉，到達快速完成刻蝕的效果，且可以根據需求來調整裝置的高度，更有效的促進刻蝕的進程，加上第二橫板、支撐柱、和滑動裝置，可以使裝置在旋轉的時候更加的穩定，能更加快速且精準的完成刻蝕。

技術領域

本實用新型涉及刻蝕技術領域，具體為一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤。

背景技術

石墨烯是一種由碳原子以sp2雜化軌道組成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜，只有一個碳原子厚度的二維材料，石墨烯是世上最薄卻也是最堅硬的納米材料，它幾乎是完全透明的，只吸收2.3％的光，導熱系數高達5300W/m·K，高于碳納米管和金剛石，常溫下其電子遷移率超過15000cm2/V·s，又比納米碳管或硅晶體高，而電阻率只約10-6Ω·cm，比銅或銀更低，石墨烯適合用來制造透明觸控屏幕、光板、甚至是太陽能電池。

目前市場上的石墨烯轉移的刻蝕載盤在刻蝕沒有穩定且安全的底座，在刻蝕的時候，可能會出現偏差，導致刻蝕失敗，且在刻蝕的時候底座不能旋轉，使刻蝕不能快速的完成，故而提出一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，具備穩定等優點，解決了墨烯轉移的刻蝕載盤在刻蝕沒有穩定且安全的底座，在刻蝕的時候，可能會出現偏差，導致刻蝕失敗，且在刻蝕的時候底座不能旋轉，使刻蝕不能快速的完成的問題。

為實現上述穩定目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，包括底座，所述底座的上表面兩端均固定安裝有底柱，所述底柱的頂部固定安裝有第一橫板，所述底座的上表面中段插接有位于第一橫板下方的電機，所述第一橫板的上表面中段固定安裝有軸承，所述電機的輸出軸固定安裝有貫穿并延伸至軸承上方的旋轉桿，所述旋轉桿的頂部固定安裝有液壓伸縮桿，所述液壓伸縮桿的底部兩端均固定安裝有與軸承相連接的滑動裝置，所述液壓伸縮桿的外表面底部套接有圓環，所述圓環的外表面套接有第二橫板，所述第一橫板的上表面兩端均固定安裝有頂部位于第二橫板內腔的支撐柱，所述支撐柱的頂部活動安裝有與第二橫板相連接的第一滑輪，所述液壓伸縮桿的頂部固定安裝有第三橫板，所述第三橫板的下表面兩端均固定安裝有與液壓伸縮桿相連接的斜桿，所述第三橫板的上表面兩端均插接有外套柱，所述外套柱的內腔頂部固定安裝有彈簧，所述彈簧的頂部固定安裝有內套柱，所述內套柱的外表面兩端均固定安裝有與外套柱相連接的穩定裝置，所述內套柱的頂部固定安裝有放置板，所述放置板的上表面中段放置有載盤。

優選的，所述滑動裝置包括在軸承上表面的圓槽，所述圓槽的內腔活動安裝有與液壓伸縮桿相連接的穩定柱，所述穩定柱的底部活動安裝有與圓槽槽底壁相連接的滾輪。

優選的，所述穩定裝置包括安裝在內套柱外表面兩端的橫桿，所述橫桿遠離內套柱的一端底部固定安裝有豎桿，所述橫桿的下表面固定安裝有與豎桿相連接的第一軟墊，所述外套柱的外表面兩端均開設有移動槽，所述移動槽的槽內頂部固定安裝有第二軟墊，所述豎桿靠近內套柱的一面固定安裝有位于移動槽內部的凸出桿，所述凸出桿遠離豎桿的一端活動安裝有與移動槽槽壁相連接的第二滑輪。

優選的，所述斜桿的數量不少于兩個，且斜桿與第三橫板之間的角度為三十度至四十五度。

優選的，所述彈簧的數量不少于兩個，且彈簧為擠壓彈簧，所述彈簧的彈力勢能為一百牛米至二百牛米。

優選的，所述第一橫板的形狀為圓柱形，且第一橫板中心處開設的圓孔直徑等于圓環的最大直徑。