[實用新型]一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤

有效

• 申請號: 201721356096.0
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN207404846U
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 曾冬冬
• 申請（專利權）人: 上海健康醫學院
• 主分類號: C01B32/184
• 分類號: C01B32/184
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 王永偉;陸惠中

1.一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面兩端均固定安裝有底柱(2)，所述底柱(2)的頂部固定安裝有第一橫板(3)，所述底座(1)的上表面中段插接有位于第一橫板(3)下方的電機(4)，所述第一橫板(3)的上表面中段固定安裝有軸承(5)，所述電機(4)的輸出軸固定安裝有貫穿并延伸至軸承(5)上方的旋轉桿(6)，所述旋轉桿(6)的頂部固定安裝有液壓伸縮桿(7)，所述液壓伸縮桿(7)的底部兩端均固定安裝有與軸承(5)相連接的滑動裝置(8)，所述液壓伸縮桿(7)的外表面底部套接有圓環(9)，所述圓環(9)的外表面套接有第二橫板(10)，所述第一橫板(3)的上表面兩端均固定安裝有頂部位于第二橫板(10)內腔的支撐柱(11)，所述支撐柱(11)的頂部活動安裝有與第二橫板(10)相連接的第一滑輪(12)，所述液壓伸縮桿(7)的頂部固定安裝有第三橫板(13)，所述第三橫板(13)的下表面兩端均固定安裝有與液壓伸縮桿(7)相連接的斜桿(14)，所述第三橫板(13)的上表面兩端均插接有外套柱(15)，所述外套柱(15)的內腔頂部固定安裝有彈簧(16)，所述彈簧(16)的頂部固定安裝有內套柱(17)，所述內套柱(17)的外表面兩端均固定安裝有與外套柱(15)相連接的穩定裝置(18)，所述內套柱(17)的頂部固定安裝有放置板(19)，所述放置板(19)的上表面中段放置有載盤(20)。

2.根據權利要求1所述的一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，其特征在于：所述滑動裝置(8)包括在軸承(5)上表面的圓槽(81)，所述圓槽(81)的內腔活動安裝有與液壓伸縮桿(7)相連接的穩定柱(82)，所述穩定柱(82)的底部活動安裝有與圓槽(81)槽底壁相連接的滾輪(83)。

3.根據權利要求1所述的一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，其特征在于：所述穩定裝置(18)包括安裝在內套柱(17)外表面兩端的橫桿(181)，所述橫桿(181)遠離內套柱(17)的一端底部固定安裝有豎桿(182)，所述橫桿(181)的下表面固定安裝有與豎桿(182)相連接的第一軟墊(183)，所述外套柱(15)的外表面兩端均開設有移動槽(186)，所述移動槽(186)的槽內頂部固定安裝有第二軟墊(187)，所述豎桿(182)靠近內套柱(17)的一面固定安裝有位于移動槽(186)內部的凸出桿(184)，所述凸出桿(184)遠離豎桿(182)的一端活動安裝有與移動槽(186)槽壁相連接的第二滑輪(185)。

4.根據權利要求1所述的一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，其特征在于：所述斜桿(14)的數量不少于兩個，且斜桿(14)與第三橫板(13)之間的角度為三十度至四十五度。

5.根據權利要求1所述的一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，其特征在于：所述彈簧(16)的數量不少于兩個，且彈簧(16)為擠壓彈簧，所述彈簧(16)的彈力勢能為一百牛米至二百牛米。

6.根據權利要求1所述的一種用于石墨烯轉移的刻蝕載盤，其特征在于：所述第一橫板(3)的形狀為圓柱形，且第一橫板(3)中心處開設的圓孔直徑等于圓環(9)的最大直徑。